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탐침(12)과 ; 탐침과 시편(14) 사이의 거리에 따라서 변하는 신호인 피드백신호를 감지하는 검출기와 ; 상기 탐침 또는 시편을 이동시키는 스캐너를 포함하여 구성된 주사탐침현미경의 제어 방법에 있어서, 상기 탐침(12)을 수평 이동시켜 시편(14)의 표면을 스캐닝하되, 상기 탐침과 시편 사이의 거리가 고속모드작동거리의 안에 속하는지를 피드백신호를 통하여 판단하여 거리가 고속모드작동거리에 속할 경우 탐침 피드백 신호를 제거한 상태로 탐침을 수평 이동시키면서 탐침과 시편의 굴곡에 의하여 변하는 피드백신호를 감지함을 특징으로 하는 고속 주사탐침현미경의 제어 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 시편의 표면을 감지하는 과정에서 시편의 표면의 고속모드작동거리를 벗어나는 과도한 변화가 있는 부분에서는 탐침 피드백요소를 즉시 회복하여 표면을 감지함을 특징으로 하는 고속 주사탐침현미경의 제어 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 주사탐침현미경은 피드백신호를 이용하여 이미징하는 주사힘현미경, 주사이온전류현미경 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 고속 주사탐침현미경의 제어 방법
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제 1 항에 있어서,상기 피드백신호는 탐침과 시료 사이의 힘, 상호작용, 이온전류 등 주사탐침현미경에 사용되는 피드백신호중 하나임을 특징으로 하는 고속 주사탐침현미경의 제어 방법
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제 1 항에 있어서,상기 고속모드작동거리는 피드백신호의 거리에 대한 변화가 잡음과 구별될 수 있는 미리 정해둔 최대작동거리와 탐침이 시편에 부딪히지 않도록 미리 정해둔 최소작동거리 사이의 거리로서, 상기 피드백신호를 제거하고 고속모드로 동작되는 거리인 것을 특징으로 하는 고속 주사탐침현미경의 제어 방법
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제 1항에 있어서,상기 시편이 기울어져 있는 경우에는 기울어진 각도만큼 z축을 x, y축과 함께 미리 이동하면서 주사하여 기울어진 평면을 피드백신호를 제거한 상태에서 주사하는 것을 특징으로 하는 고속 주사탐침현미경의 제어 방법
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