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세정장치

  • 기술번호 : KST2014008190
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공정이 간소화되고 소요시간이 단축되면서도 효과가 우수한 세정공정을 위하여, 고압세정기에 웨이퍼를 장착하는 단계와, 상기 고압세정기 내에 저압의 고순도 기체 이산화탄소를 주입하는 단계와, 상기 고압세정기 내에 초임계 세정압력보다 낮은 압력의 이산화탄소를 주입하는 단계와, 상기 고압세정기 내에 세정용 첨가제와 초임계 상태의 이산화탄소가 혼합된 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 초임계 세정압력으로 주입하여 상기 웨이퍼를 세정하는 단계와, 상기 고압세정기 내에 헹굼용 첨가제와 초임계 상태의 이산화탄소가 혼합된 초임계 상태의 헹굼용 혼합물을 주입하여 상기 웨이퍼를 헹구는 단계와, 상기 고압세정기의 혼합물로부터 이산화탄소를 분리하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정공정을 제공한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060006591 (2006.01.21)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0708773-0000 (2007.04.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.01.21)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한갑수 대한민국 경기 용인시 풍덕
2 유기풍 대한민국 서울 마포구
3 임종성 대한민국 서울 중구
4 권영훈 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에스지엠 서울특별시 마포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0047383-16
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2006.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-5006978-05
3 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2006.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-5008044-23
4 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2006.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-5008043-88
5 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2006.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-5008040-41
6 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2006.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-5008042-32
7 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2006.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-5008046-14
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.02.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0133459-27
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.10.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0065079-16
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0671168-67
12 의견서
Written Opinion		 2007.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0022948-17
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0022949-52
14 등록결정서
Decision to grant		 2007.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0132874-75
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고압세정기에 웨이퍼를 장착하는 단계;상기 고압세정기 내에 저압의 고순도 기체 이산화탄소를 주입하는 단계;상기 고압세정기 내에 초임계 세정압력보다 낮은 압력의 이산화탄소를 주입하는 단계;상기 고압세정기 내에, 세정용 첨가제와 초임계 상태의 이산화탄소가 혼합된 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물을 초임계 세정압력으로 주입하여 상기 웨이퍼를 세정하는 단계;상기 고압세정기 내에, 헹굼용 첨가제와 초임계 상태의 이산화탄소가 혼합된 초임계 상태의 헹굼용 혼합물을 주입하여 상기 웨이퍼를 헹구는 단계; 및상기 고압세정기의 혼합물로부터 이산화탄소를 분리하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정공정
2 2
제 1항에 있어서,상기 초임계 세정압력은 120bar 내지 300bar인 것을 특징으로 하는 세정공정
3 3
제 1항에 있어서,상기 고압세정기 내에 초임계 세정압력보다 낮은 압력의 이산화탄소를 주입하는 단계는, 상기 고압세정기 내에 초임계 세정압력보다 10bar 내지 40bar 낮은 압력의 이산화탄소를 주입하는 단계인 것을 특징으로 하는 세정공정
4 4
제 1항에 있어서,상기 초임계 상태의 이산화탄소와 세정용 첨가제가 혼합된 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물은, 초임계 세정압력보다 높은 압력의 이산화탄소와, 대기압 또는 이산화탄소의 임계 압력보다 낮은 저압상태의 세정용 첨가제를 압력차에 의한 혼합효과를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 세정공정
5 5
제 4항에 있어서,상기 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물의 형성은, 저압상태의 세정용 첨가제에 초임계 세정압력보다 높은 압력의 이산화탄소를 주입하여 압력차에 의한 혼합효과를 이용함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 세정공정
6 6
제 1항에 있어서,상기 웨이퍼를 헹구는 단계를 거친 후, 초임계 상태의 이산화탄소로 상기 웨이퍼를 헹구는 단계를 더 거치는 것을 특징으로 하는 세정공정
7 7
제 1항에 있어서,상기 고압세정기의 혼합물로부터 이산화탄소를 분리하는 단계는, 상기 고압세정기의 혼합물을 감압하여 이산화탄소를 기체 상태로 분리하는 단계인 것을 특징으로 하는 세정공정
8 8
제 1항에 있어서,상기 고압세정기의 혼합물로부터 이산화탄소를 분리하는 단계를 거친 후, 분리된 이산화탄소를 정제하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정공정
9 9
제 8항에 있어서,상기 분리된 이산화탄소의 정제는, 이온성 액체(ionic liquid) 및 흡착제 중 적어도 어느 하나를 이용하여 불순물을 제거하는 것을 특징으로 하는 세정공정
10 10
제8항에 있어서,상기 정제된 이산화탄소를 액체 상태로 상변화시키기 위한 응축 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 세정공정
11 11
제 1항에 있어서,상기 헹구는 단계는 상기 세정하는 단계를 거친 후 상기 웨이퍼 상에 잔존하는 세정용 첨가제 또는 세정오염물을 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 세정공정
12 12
제 1항에 있어서,상기 세정용 첨가제는 불소계 계면활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정공정
13 13
제 12항에 있어서,상기 불소계 계면활성제는 탄소수 2 내지 20의 불소계 카르복실산, 평균 분자량이 300 내지 5000인 과불화 에테르계 폴리머 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 세정공정
14 14
제 1항에 있어서,상기 세정용 첨가제는, 불소계 계면활성제 0
15 15
제 14항에 있어서,상기 불소계 계면활성제는 탄소수 2 내지 20의 불소계 카르복실산, 평균 분자량이 300 내지 5000인 과불화 에테르계 폴리머 또는 이들의 혼합물이고,상기 지방족 아민은 모노에탄올 아민, 2-(2-아미노에톡시)에탄올, 디에탄올 아민, 이미노비스프로필아민, 2-메틸아미노에탄올, 트리에틸아미노에탄올 또는 이들의 혼합물이고,상기 극성 유기용매는 N,N'-디메틸아세트아미드, 디메틸설폭사이드, 1-메틸-2-피롤리디논, N,N'-디메틸포름아미드, 암모늄플루오라이드 또는 이들의 혼합물이고,상기 알코올계 용매는 메탄올, 에탄올, 이소프로판올 또는 이들의 혼합물이고,상기 에테르계 용매는 에틸렌글리콜 메틸에테르, 에틸렌글리콜 에틸에테르, 에틸렌글리콜 부틸에테르, 디에틸렌글리콜 메틸에테르, 디에틸렌글리콜 에틸에테르, 트리에틸렌글리콜 메틸에테르, 트리에틸렌글리콜 에틸에테르 또는 이들의 혼합물이고,상기 부식방지제는 카테콜(catechol), 갈릭산(gallic acid) 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 세정공정
16 16
제 1항에 있어서,상기 세정용 첨가제는, 불소계 계면활성제 0중량% 내지 90중량%과, 반도체 세정용 스트리퍼 0
17 17
제 16항에 있어서,상기 불소계 계면활성제는 탄소수 2 내지 20의 불소계 카르복실산, 평균 분자량이 300 내지 5000인 과불화 에테르계 폴리머 또는 이들의 혼합물이고,상기 알코올계 용매는 메탄올, 에탄올, 이소프로판올 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 세정공정
18 18
제 1항에 있어서,상기 초임계 상태의 이산화탄소와 세정용 첨가제가 혼합된 초임계 상태의 균질 투명상 혼합물에서 상기 세정용 첨가제는 전체 용적에서 2용적% 내지 30용적%인 것을 특징으로 하는 세정공정
19 19
제 1항에 있어서,상기 초임계 상태의 이산화탄소와 헹굼용 첨가제가 혼합된 초임계 상태의 헹굼용 혼합물에서 상기 헹굼용 첨가제는 전체 용적에서 2용적% 내지 30용적%인 것을 특징으로 하는 세정공정
20 20
제 1항에 있어서,상기 헹굼용 첨가제는 메탄올, 에탄올 이소프로판올 또는 이들의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정공정
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08080114 US 미국 FAMILY
2 US20070169791 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2007169791 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8080114 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.