| 요약 |
본 발명은 이온원장치의 인출필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 3쌍의 자극이 순차적으로 배치된 시케인 자석과, 각 쌍의 자극 사이를 순차적으로 관통하며 분기관이 형성되어 있는 이송관을 구비하여, 이온원장치로부터 전자 및 음이온이 이송관으로 입사되면, 분기관을 통해 전자를 효과적으로 배출시키는 동시에 음이온의 인출 방향을 최초의 입사 방향과 일치시키는 시케인 자석을 이용한 음이온 인출필터에 관한 것이다.본 발명은 3쌍의 자극이 순차적으로 배치되는 시케인 자석, 상기 시케인 자석 각 쌍의 자극 사이를 순차적으로 관통하도록 구비되어 음이온의 이송 통로 역할을 하는 이송관으로 구성되는 것을 특징으로 한다.본 발명은 전자와 음이온이 자장이 형성된 시케인 자석 내부의 이송관을 통해 진행하면서 분기관을 통해 전자를 효과적으로 분리하는 동시에 음이온의 인출 방향을 최초의 입사 방향과 동일한 방향으로 유지시켜주므로, 최종적으로 인출된 음이온의 방향에 따라 연계 장치를 정렬하는데 소요되는 시간을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.시케인 자석, 이온원, 전자, 음이온, 인출필터, 궤도, 자장
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