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마이크로 엑츄에이터

  • 기술번호 : KST2014008354
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 엑츄에이터에 관한 것으로, 상호 일정거리 이격되어 기판(200)에 고정된 제 1과 2 지지부들(101,102)과; 상기 제 1과 2 지지부들(101,102)에 각각 연결되며, 기판(200)으로부터 부상된 제 1과 2 탄성부들(111,112)과; 상기 제 1과 2 탄성부들(111,112)에 각각 연결되어 기판(200)으로부터 부상되고, 진공 유전율보다 큰 유전율을 갖는 구동부(130)와; 상기 구동부(130)의 양측에 형성되며, 상기 기판(200)에 고정된 제 1과 2 전극들(121,122)로 구성된다.따라서, 본 발명은 부품을 단순화하여 제조공정을 간단히 하고, 제조 경비를 줄일 수 있으며, 정밀하게 구동시킬 수 있어, 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 발생한다.마이크로, 엑츄에이터, 변위, 유전율, 전극
Int. CL G02B 26/02 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020020022330 (2002.04.23)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0425776-0000 (2004.03.22)
공개번호/일자 10-2003-0083928 (2003.11.01) 문서열기
공고번호/일자 (20040401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.04.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경일 대한민국 서울특별시서초구
2 박효덕 대한민국 경기도평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0122225-55
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0008529-11
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0100871-30
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
1 1

상호 일정거리 이격되어 기판(200)에 고정된 제 1과 2 지지부들(101,102)과; 상기 제 1과 2 지지부들(101,102)에 각각 연결되며, 기판(200)으로부터 부상된 제 1과 2 탄성부들(111,112)과;

상기 제 1과 2 탄성부들(111,112)에 각각 연결되어 기판(200)으로부터 부상되고, 진공 유전율보다 큰 유전율을 갖는 구동부(130)와;

상기 구동부(130)의 양측에 형성되며, 상기 기판(200)에 고정된 제 1과 2 전극들(121,122)로 구성된 것을 특징으로 마이크로 엑츄에이터

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 구동부(130)는 유전율이 큰 유전막과 작은 유전막이 결합되어 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 엑츄에이터

3 3

상호 일정거리 이격되어 기판(200)에 고정된 제 1과 2 지지부들(101,102)과; 상기 제 1과 2 지지부들(101,102)에 각각 연결되며, 기판(200)으로부터 부상된 제 1과 2 탄성부들(111,112)과;

상기 제 1과 2 탄성부들(111,112)에 각각 연결되어 기판(200)으로부터 부상된 제 1과 2 전극들(121,122)과;

상기 제 1과 2 전극들(121,122) 사이에 위치되어, 기판(200)에 고정되고, 진공 유전율보다 큰 유전율을 갖는 고정부(140)로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 엑츄에이터

4 4

제 3 항에 있어서,

상기 구동부(130)는 유전율이 큰 유전막과 작은 유전막이 결합되어 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 엑츄에이터

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.