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단결정 기판과,RBa2Cu3O7로 표현되며, 상기 R은 Sm, Nd, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb로 구성되는 그룹으로부터 선택되며, 상기 단결정 기판 위에 증착되어 하부 전극으로 작용하며 고온 초전도 특성을 가지는 전도성 산화물 박막과,상기 전도성 산화물 박막 위에 증착되는 강유전체 박막을 포함하는 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조
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제1항에 있어서, 상기 단결정 기판은 LaAlO3 단결정 기판인 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조
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(삭제)
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제1항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 Pb(Zr,Ti)O3 박막인 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조
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제1항에 있어서, 상기 전도성 산화물 박막은 펄스 레이저 증착법(pulsed laser deposition)을 이용하여 증착되는 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조
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제1항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 펄스 레이저 증착법을 이용하여 증착되는 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조
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제6항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 3분 정도의 시간동안 증착되는 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조
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단결정 기판 위에 하부 전극으로 작용하며 고온 초전도 특성을 가지는 전도성 산화물 박막을 증착하는 단계와, 상기 전도성 산화물 박막 위에 강유전체 박막을 증착하는 단계를 포함하는 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 전도성 산화물 박막은 RBa2Cu3O7로 표현되는 고온 초전도 물질이며, 상기 R은 Y, Sm, Nd, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 3분 정도의 시간동안 펄스 레이저 증착법을 이용하여 증착되는 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조의 제작방법
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제8항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 3분 정도의 시간동안 펄스 레이저 증착법을 이용하여 증착되는 것인 초전도 전극을 이용한 나노스토리지 강유전체 매체구조의 제작방법
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