요약 | 본 발명은 게르마늄 선구 물질로서 하기 화학식 1로 표시되는 신규의 게르마늄 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것이다.[화학식 1]상기 화학식 1에서 상기 화학식에서 R1 및 R2는 서로 독립적으로 불소로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C7의 선형 또는 분지형 알킬기이며; R3 및 R4는 서로 독립적으로 수소, 불소로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C7의 선형 또는 분지형 알킬기이며, m은 1 내지 4이다. 본 발명에 따른 게르마늄 선구 물질은 상온에서 흰색 고체 상태로 존재하며 녹는점이 낮아 액체로도 존재할 수 있으며, 분별 증류하여 순수한 화합물을 얻을 수 있다. 이를 이용하여 게르마늄, 게르마늄 산화물, 게르마늄 칼코게나이드 및 기타 게르마늄을 포함하는 물질을 제조할 수 있을 뿐만 아니라 금속 유기물 화학 증착법(metal organic chemical vapor deposition, MOCVD)을 통하여 게르마늄 박막을 제조할 수 있는 장점이 있다.게르마늄 아미노알콕사이드, 선구 물질, 박막, MOCVD |
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Int. CL | C07F 7/30 (2006.01) |
CPC | C07F 7/30(2013.01) C07F 7/30(2013.01) C07F 7/30(2013.01) C07F 7/30(2013.01) C07F 7/30(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070042805 (2007.05.02) |
출원인 | 한국화학연구원 |
등록번호/일자 | 10-0860140-0000 (2008.09.18) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20080925) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.05.02) |
심사청구항수 | 3 |