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양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 액추에이터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014009226
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터에 관한 것으로서, 전류 또는 자기장의 방향을 제어하여 마이크로 거울의 회전방향을 양방향으로 효율적으로 제어할 수 있고, 특히, 간단한 구조를 가지면서도 양방향 효율적인 구동을 수행할 수 있어서 높은 제작 수율과 그에 따른 생산 단가를 현저하게 낮출 수 있을 뿐 아니라, 낮은 작동 전압에서 구동이 가능하여 낮은 작동전압이 요구되는 다양한 응용장치에 적용할 경우 효용성을 높일 수 있는 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터에 관한 것이다.엑츄에이터, 마이크로 거울, 좌굴, 주울열, 로렌츠 힘, 양방향 구동
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/085(2013.01) G02B 26/085(2013.01) G02B 26/085(2013.01) G02B 26/085(2013.01) G02B 26/085(2013.01)
출원번호/일자 1020090016842 (2009.02.27)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1176698-0000 (2012.08.17)
공개번호/일자 10-2010-0097943 (2010.09.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120823) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기도 고양시 덕양구
2 은영기 대한민국 경기도 용인시 수지구
3 나형주 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0123298-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.12.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0004886-09
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0133174-48
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0138458-71
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0054399-19
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0220298-54
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0313370-03
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0313371-48
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0581880-86
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0984257-01
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0984256-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
14 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2012.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0140269-67
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.03.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0255710-18
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0255709-72
17 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0396696-20
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
상부면에 외부에서 입사되는 광이 반사되는 반사면이 형성된 거울과;상기 거울의 회전 중심축 상에 배치되며 상기 거울의 양측에 연결되는 토션바와;상기 토션바가 지지되는 토션바 앵커와;상기 토션바를 사이에 두고서 상기 거울의 양측에 서로 대칭되도록 연결되는 한 쌍의 좌굴빔과;상기 좌굴빔이 지지되는 좌굴빔 앵커를 포함하여 이루어지며,자기장이 형성된 상태에서 상기 좌굴빔 앵커를 통해 상기 좌굴빔에 전류를 흘려주어 상기 좌굴빔의 열팽창에 의해 수직방향으로 좌굴(buckling)이 발생하여 상기 거울이 상기 토션바를 중심으로 양방향으로 회전이 이루어지도록 구성되며,상기 좌굴빔의 두께는 상기 거울이나 좌굴빔 앵커의 두께보다 작으며,실리콘(silicon)으로 구성되고, DRIE(Deep Reactive Ion Etching)를 포함하는 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 이나 표면 마이크로머시닝 (Surface Micromachining) 또는 이들의 조합으로 제작되는 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터
2 2
제1항에 있어서, 상기 토션바를 중심으로 회전되는 상기 거울의 회전방향은 자기장을 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터
3 3
제1항에 있어서, 상기 토션바를 중심으로 회전되는 상기 거울의 회전방향은 상기 좌굴빔에 흐르는 전류의 방향제어를 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터
4 4
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5 5
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6 6
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10 10
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11 11
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 연세대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2006년 신기술 연구개발 지원사업) 카테터 통합 방식의 초소형 광 간섭 3차원 단층 영상 측정기를 위한 2축 미이크로 영상 주사장치개발