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ＩｎＺｎＯ 박막 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014009381
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ZnO에 In이 도핑된 비정질 산화물 반도체 박막으로서, 상기 산화물 반도체 박막은 In과 Zn의 조성비가 몰%로 60:40 ~ 40:60의 범위이고, In과 Zn을 포함하는 전구체 용액을 300℃ 이하에서 열처리하여 얻어진 것을 특징으로 하는 InZnO 박막을 제공한다. 상기 박막은 금속 질화물 또는 금속 아세테이트 형태의 무기염 전구체로서, 각각 Zn과 In을 포함하는 제1물질 및 제2물질을 이용하여 용액 공정에 의하여 형성할 수 있다. 특히 열처리 온도를 300℃ 이하로 낮출 수 있어 저가 공정에 의하여 새로운 플렉시블 기반의 전자소자 구현이 가능하다. 산화물 반도체, 용액 공정, 저온 열처리
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 29/26(2013.01) H01L 29/26(2013.01) H01L 29/26(2013.01) H01L 29/26(2013.01)
출원번호/일자 1020090014560 (2009.02.20)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1017494-0000 (2011.02.17)
공개번호/일자 10-2010-0095328 (2010.08.30) 문서열기
공고번호/일자 (20110225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.20)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문주호 대한민국 서울 서대문구
2 구창영 대한민국 경기도 군포시
3 김동조 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 송근규 대한민국 경기도 용인시 수지구
5 정영민 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이익배 대한민국 제주특별자치도 서귀포시 서호남로 **, ***동 ***호 (서호동)(세광특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0108222-42
2 보정요구서
Request for Amendment		 2009.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0014433-35
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0143253-12
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0310281-64
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0482992-12
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0702804-06
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0055268-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
금속 질화물 또는 금속 아세테이트 형태의 무기염 전구체로서, 각각 Zn과 In을 포함하는 제1물질 및 제2물질과, 전체 용액 100 몰 기준으로 99
5 5
제4항에 있어서, 상기 용매는 2-methoxyethanol, isopropanol, ethanol, ethylene glycol, butanediol, 1-butandiol, 2-butandiol 중에서 선택되는 어느 하나인 InZnO 박막 전구체 용액
6 6
제4항에 있어서, ethanolamine, dimethyl amine, triethanol amine, acetylacetone, acetic acid 에서 선택되는 어느 하나의 착화제 2 ~ 10 몰을 더 포함하는 InZnO 박막 전구체 용액
7 7
제4항에 있어서, 2 ~ 15 몰의 formamide 을 더 포함하는 InZnO 박막 전구체 용액
8 8
금속 질화물 또는 금속 아세테이트 형태의 무기염 전구체로서, 각각 Zn과 In을 포함하는 제1물질 및 제2물질과, 전체 용액 100 몰 기준으로 99
9 9
전체 용액 100 몰 기준으로 99
10 10
제9항에 있어서, 상기 어닐링 시간은 30분 ~ 2시간인 InZnO 박막 제조 방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 전구체 용액은 스핀 코팅, 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 그라비아 프린팅, 또는 오프셋 프린팅에 의하여 대상 기판에 도포하는 것을 특징으로 하는 InZnO 박막 제조 방법
12 12
전체 용액 100 몰 기준으로 99
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.