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염화루테늄 분말을 질소 하에서 증류수에 용해시킨 후, 계면활성제를 첨가 및 혼합하여 전해질 용액을 제조하는 단계(단계 1);
상기 단계 1에서 제조된 전해질 용액에 기판을 침지시키고, 전기화학적 증착법으로 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막을 제조하는 단계(단계 2); 및
상기 단계 2에서 제조된 박막으로부터 세척용액을 사용하여 계면활성제를 제거하는 단계(단계 3)를 포함하여 이루어지는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 염화루테늄 분말은 전해질 용액내에서 5 - 100 mM가 되도록 용해시키는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 계면활성제는 세틸트리메틸암모늄 브로마이드(cetyltrimethylammonium bromide; CTAB)인 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 계면활성제는 전해질 용액의 총중량에 대하여 1 - 10 중량% 범위 내에서 첨가되는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 전해질 용액은 10 - 90 ℃ 온도범위에서 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 전기화학적 증착은 0
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 전기화학적 증착은 1 - 200 분간 수행되는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 전기화학적 증착은 3원 전극시스템을 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 3원 전극시스템은 기준전극을 Ag/AgCl전극 또는 포화 카멜 전극(Sat'd Camel Electrode, SCE)으로, 상대전극을 백금전극으로, 작업전극을 증착되는 기판으로 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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10
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 기판은 ITO 유리, 스테인리스 스틸, 흑연 및 백금판으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막의 제조방법
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조되는 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막
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제11항에 있어서, 상기 중간세공 구조를 갖는 이산화루테늄 박막은 직경 1 - 5 nm의 기공과 직경 1 - 5 nm의 이산화루테늄 입자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이산화루테늄 박막
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