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내플라즈마 부재 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014009453
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내플라즈마 부재 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 부식성가스 및 부식성가스를 포함한 플라즈마에 대한 저항성을 가지면서도 입계가 존재하지 않아 파티클 발생을 억제할 수 있는 비정질 소재의 내플라즈마 부재 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 내플라즈마 부재는 Y-Si-Al-O-N 조성을 갖는 유리조성물에 있어서, 상기 유리조성물은 Y2O3 5 내지 30 mol%, Al2O3 15 내지 40 mol% 및 SiO2 10 내지 80 mol%, Si3N4 0 내지 20 mol%를 포함함에 그 기술적 특징이 있다. 옥시나이트라이드 유리, 내플라즈마, 내식성, 고융점, 비정질 유리
Int. CL C03C 3/085 (2006.01) C03C 3/083 (2006.01) C03C 3/076 (2006.01)
CPC C03C 3/095(2013.01) C03C 3/095(2013.01) C03C 3/095(2013.01) C03C 3/095(2013.01) C03C 3/095(2013.01)
출원번호/일자 1020080044946 (2008.05.15)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0972567-0000 (2010.07.21)
공개번호/일자 10-2009-0119103 (2009.11.19) 문서열기
공고번호/일자 (20100728) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.05.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형순 대한민국 서울 강남구
2 이정기 대한민국 인천 연수구
3 황성진 대한민국 경남 진주시
4 이성민 대한민국 경기도 광주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0344496-79
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2008-5093865-89
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2008-0080077-91
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.03.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0089543-62
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0201540-85
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0201597-76
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0201543-11
10 등록결정서
Decision to grant
2010.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0307352-07
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
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Y-Si-Al-O-N 조성을 갖는 유리조성물에 있어서, 상기 유리조성물은 Y2O3 5 내지 30 mol%, Al2O3 15 내지 40 mol%, SiO2 10 내지 80 mol% 및 Si3N4 0 내지 20 mol% 를 포함하는 비정질 내플라즈마 부재
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제 5항에 있어서, 상기 유리조성물의 조성은 양이온과 음이온의 등가비율이 1:1인 비정질 내플라즈마 부재
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제 6항에 있어서, 상기 양이온은 Y, Al, Si 이고, 상기 음이온은 O, N 인 비정질 내플라즈마 부재
8 8
제 5항에 있어서, 상기 유리조성물은 결정질의 부피 분율이 0 내지 0
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제 5항의 유리조성물을 알루미나, 석영 및 금속 중 어느 하나로 선택되는 기재 위에 코팅하여 코팅층을 형성하는 비정질 내플라즈마 부재의 제조방법
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제 9항에 있어서, 상기 코팅은 용사, 에어로졸 증착, 스퍼터링, 전자빔증착법, 열증착법, 레이저증착법 중 어느 하나의 방법을 사용하는 비정질 내플라즈마 부재의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.