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금속막 에칭 용액 및 이를 이용한 금속막 에칭 방법

  • 기술번호 : KST2014009614
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속막 에칭 용액 및 이를 이용한 금속막 에칭 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 금속막 에칭 용액은 염화제2철(FeCl3); 염화제2구리(CuCl2); 염소 이온을 함유하는 제 1 산; 상기 제 1 산보다 높은 점도를 갖는 제 2 산; 및 친수성 용매를 포함한다. 본 발명에 따른 금속막 에칭 용액은 고속의 에칭속도 및 우수한 에칭 표면의 조도를 가질 수 있으며, 더 나아가, 40℃ 이상의 온도조건에서 염화제2철을 사용하는 종래의 기술과 달리 상온에서도 충분한 에칭 효과를 달성할 수 있으므로, 대량생산에 적합하고, 매우 경제적이다.
Int. CL C09K 13/04 (2006.01)
CPC C23F 1/16(2013.01) C23F 1/16(2013.01) C23F 1/16(2013.01) C23F 1/16(2013.01)
출원번호/일자 1020080051778 (2008.06.02)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-1478809-0000 (2014.12.26)
공개번호/일자 10-2009-0125595 (2009.12.07) 문서열기
공고번호/일자 (20150105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.03)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신동혁 대한민국 서울특별시 강남구
2 유봉영 대한민국 경기 성남시 분당구
3 이선영 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 황덕영 대한민국 경기도 안산시 상록구
5 조현희 대한민국 전라북도 익산
6 정규봉 대한민국 경상남도 거제시 거제중앙로 ***

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2008-0395687-77
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0125727-54
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2012.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0937949-20
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-0489699-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0489691-49
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0029022-57
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0370814-04
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0701708-91
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0802836-17
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0802845-28
12 등록결정서
Decision to grant
2014.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0877168-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
염화제2철(FeCl3); 염화제2구리(CuCl2); 염소 이온을 함유하는 것으로서, 중성 염화물과 혼합된 산 또는 염산인 것을 특징으로 하는 제 1산;상기 제 1산보다 높은 점도를 가지는 것으로서, 20 cP이상의 점도를 가지는 인산 또는 황산인 것을 특징으로 하는 제 2산; 및물, 에탄올, 메탄올 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 친수성 용매;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속막 에칭 용액
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3 3
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5 5
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6 6
제 1항에 있어서, 염화제2철은 0
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제 1항에 있어서, 염화제2구리는 0
8 8
제 1항에 있어서,제 1산은 0
9 9
제 1항에 있어서, 제 2산은 0
10 10
제 1항에 있어서, 상기 금속막은 알루미늄, 알루미늄 합금, 마그네슘 및 마그네슘 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 금속막 에칭 용액
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13 13
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14 14
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16 16
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17 17
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18 18
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20 20
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21 21
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.