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기판 정렬 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014010014
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판의 노광 작업을 위해 마스크에 대해 상기 기판을 정렬하는 기판 정렬 장치 및 방법에 관한 것이다. 기판 정렬 장치는, 상기 기판을 지지하며 상기 기판을 이송하거나 정렬할 수 있도록 구성되는 기판 이송 유닛, 상기 기판에 부착되는 역 반사체, 상기 역 반사체로 레이저 빔을 조사하고 상기 역 반사체에 의해 반사된 레이저 빔을 수신하며 상기 수신된 레이저 빔의 물리적 특성에 기초하여 상기 역 반사체의 좌표를 산출하는 레이저 트랙커 유닛, 그리고 상기 산출된 좌표와 상기 역 반사체의 기준 좌표에 기초하여 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 이송하거나 정렬하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하는 콘트롤러를 포함한다. 기판을 정지시키지 않고 기판이 정렬될 수 있으므로 기판이 신속하고 정확하게 정렬될 수 있다.기판, 노광, 마스크, 정렬, 레이저 트랙커, 역 반사체, 좌표, 콘트롤러
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01J 9/42 (2006.01)
CPC G03F 9/7065(2013.01) G03F 9/7065(2013.01) G03F 9/7065(2013.01)
출원번호/일자 1020060133294 (2006.12.24)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0796299-0000 (2008.01.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.24)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남경태 대한민국 경기 안산시 상록구
2 이상무 대한민국 경기 용인시 기흥구
3 박상덕 대한민국 경기 안양시 동안구
4 손웅희 대한민국 충남 천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인명인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층(역삼동, 두원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0958009-78
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
3 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0605598-39
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 노광 작업을 위해 마스크에 대해 상기 기판을 정렬하는 기판 정렬 장치로서,상기 기판을 지지하며 상기 기판을 이송하거나 정렬할 수 있도록 구성되는 기판 이송 유닛,상기 기판에 부착되는 역 반사체,상기 역 반사체로 레이저 빔을 조사하고 상기 역 반사체에 의해 반사된 레이저 빔을 수신하며 상기 수신된 레이저 빔의 물리적 특성에 기초하여 상기 역 반사체의 좌표를 산출하는 레이저 트랙커 유닛, 그리고상기 산출된 좌표와 상기 역 반사체의 기준 좌표에 기초하여 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 이송하거나 정렬하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하는 콘트롤러를 포함하는 기판 정렬 장치
2 2
제1항에서,상기 기준 좌표는 상기 마스크의 위치에 대한 상기 역 반사체의 정렬 위치에 해당하는 좌표인 기판 정렬 장치
3 3
제1항에서,상기 콘트롤러는 상기 산출된 좌표와 상기 기준 좌표 사이의 거리를 산출하고, 상기 산출된 거리와 제1 설정 값 및 제2 설정 값과의 비교에 기초하여 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 이송하거나 정렬하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하는 기판 정렬 장치
4 4
제3항에서,상기 제1 설정 값은 상기 제2 설정 값 보다 크고,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값 보다 큰 경우, 상기 콘트롤러는 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 이송하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하며,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값과 상기 제2 설정 값 사이인 경우, 상기 콘트롤러는 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 정렬하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하고,상기 산출된 거리가 상기 제2 설정 값 보다 작은 경우, 상기 콘트롤러는 상기 기판 이송 유닛의 작동을 중지하는 기판 정렬 장치
5 5
제1항에서,상기 기준 좌표와 상기 산출된 좌표는 3차원 공간상의 세 개의 위치 좌표 값 및 회전 좌표 값을 포함하고,상기 콘트롤러는 상기 산출된 좌표와 상기 기준 좌표 사이의 거리를 산출하고, 상기 산출된 거리와 제1 설정 값 및 제2 설정 값과의 비교에 기초하여 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 이송하거나 정렬하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하는 기판 정렬 장치
6 6
제5항에서,상기 제1 설정 값은 상기 제2 설정 값 보다 크고,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값 보다 큰 경우, 상기 콘트롤러는 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 이송하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하며,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값과 상기 제2 설정 값 사이인 경우, 상기 콘트롤러는 상기 기판 이송 유닛이 상기 산출된 좌표의 세 개의 위치 좌표 값 및 회전 좌표 값이 상기 기준 좌표의 세 개의 위치 좌표 값 및 회전 좌표 값에 각각 근접하도록 상기 기판을 정렬하도록 상기 기판 이송 유닛을 제어하고,상기 산출된 거리가 상기 제2 설정 값 보다 작은 경우, 상기 콘트롤러는 상기 기판 이송 유닛의 작동을 중지하는 기판 정렬 장치
7 7
기판의 노광 작업을 위해 마스크에 대한 상기 기판을 정렬하는 기판 정렬 방법으로서,상기 기판에 부착된 역 반사체로 레이저 빔을 조사하는 단계,상기 역 반사체에 의해 반사된 레이저 빔을 수신하는 단계,상기 수신된 레이저 빔의 물리적 특성에 기초하여 상기 역 반사체의 좌표를 산출하는 단계, 그리고상기 산출된 좌표와 상기 역 반사체의 기준 좌표에 기초하여 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계를 포함하는 기판 정렬 방법
8 8
제7항에서,상기 기준 좌표는 상기 마스크의 위치에 대한 상기 역 반사체의 정렬 위치에 해당하는 좌표인 기판 정렬 방법
9 9
제8항에서,상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서,상기 산출된 좌표와 상기 기준 좌표 사이의 거리가 산출되고 상기 산출된 거리와 제1 설정 값 및 제2 설정 값과의 비교에 기초하여 상기 기판이 이송되거나 정렬되는 기판 정렬 방법
10 10
제9항에서,상기 제1 설정 값은 상기 제2 설정 값 보다 크고,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값 보다 큰 경우, 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서 상기 기판이 이송되며,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값과 상기 제2 설정 값 사이의 경우, 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서 상기 기판이 정렬되고,상기 산출된 거리가 상기 제2 설정 값 보다 작은 경우, 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서 상기 기판의 정렬이 중지되는 기판 정렬 방법
11 11
제7항에서,상기 기준 좌표와 상기 산출된 좌표는 3차원 공간상의 세 개의 위치 좌표 값 및 회전 좌표 값을 포함하고,상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서,상기 산출된 좌표와 상기 기준 좌표 사이의 거리가 산출되고 상기 산출된 거리와 제1 설정 값 및 제2 설정 값과의 비교에 기초하여 상기 기판이 이송되거나 정렬되는 기판 정렬 방법
12 12
제11항에서,상기 제1 설정 값은 상기 제2 설정 값 보다 크고,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값 보다 큰 경우, 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서 상기 기판은 이송되며,상기 산출된 거리가 상기 제1 설정 값과 상기 제2 설정 값 사이인 경우, 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서 상기 산출된 좌표의 세 개의 위치 좌표 값과 회전 좌표 값이 상기 기준 좌표의 세 개의 위치 좌표 값과 회전 좌표 값에 각각 근접하도록 상기 기판이 정렬되고,상기 산출된 거리가 상기 제2 설정 값 보다 작은 경우, 상기 기판을 이송하거나 정렬하는 단계에서 상기 기판의 이송 및 정렬이 중지되는 기판 정렬 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.