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고분자 레지스트 표면에 미세 패턴을 급속으로 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치에 있어서,장치의 내부 하측에 마련되며, 그 상부에 금속 지지판이 위치되는 하부 베이스; 장치의 내부 상측에 마련되며, 그 하부에 금속 스탬프가 위치되며 하방에 다수의 삽입홈이 형성된 상부 베이스; 상기 하부 베이스를 기반으로 상부 베이스를 상하 이동을 하며 이를 가이드 해주는 역할을 하는 슬라이드 가이드 바를 포함하는 상부베이스 수직 이동수단; 하부 베이스에 일측이 고정되고 상기 상부 베이스에 형성된 삽입 홈에 코일의 각 권이 삽입될 수 있도록 설치되며 금속스탬프를 감싸듯이 회전하는 스프링 형상의 사각 나선형 코일;상부 지지판 및 하부 지지판 사이에 설치되는 나노 또는 마이크로 스케일의 원하는 패턴을 가지는 금속 스탬프, 상기 금속 스탬프와 동일한 재질의 금속 지지판, 상기 금속 스탬프와 지지판재 사이에 안치되는 고분자 레지스트, 상기 고분자 레지스트를 공급하는 소재공급수단을 포함하되,상기 나선형 코일의 양 끝단의 권선간격을 중앙부보다 좁게 하여 온도편차를 줄일 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 급속 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치
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고분자 레지스트 표면에 미세 패턴을 급속으로 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치에 있어서,장치의 내부 하측에 마련되며, 그 상부에 금속 지지판이 위치되는 하부 베이스; 장치의 내부 상측에 마련되며, 그 하부에 금속 스탬프가 위치되며 하방에 다수의 삽입홈이 형성된 상부 베이스; 상기 하부 베이스를 기반으로 상부 베이스를 상하 이동을 하며 이를 가이드 해주는 역할을 하는 슬라이드 가이드 바를 포함하는 상부베이스 수직 이동수단; 하부 베이스에 일측이 고정되고 상기 상부 베이스에 형성된 삽입 홈에 코일의 각 권이 삽입될 수 있도록 설치되며 금속스탬프를 감싸듯이 회전하는 스프링 형상의 사각 나선형 코일;상부 지지판 및 하부 지지판 사이에 설치되는 나노 또는 마이크로 스케일의 원하는 패턴을 가지는 금속 스탬프, 상기 금속 스탬프와 동일한 재질의 금속 지지판, 상기 금속 스탬프와 지지판재 사이에 안치되는 고분자 레지스트, 상기 고분자 레지스트를 공급하는 소재공급수단을 포함하되,상기 코일의 안으로는 냉각수가 흘러서 코일 자체의 온도 상승을 억제해 주도록 하는 것을 특징으로 하는 급속 성형이 가능한 미세 임프린트 리소그래피 장치
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고분자 레지스트 표면에 미세 패턴을 급속으로 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치에 있어서,장치의 내부 하측에 마련되며, 그 상부에 금속 지지판이 위치되는 하부 베이스; 장치의 내부 상측에 마련되며, 그 하부에 금속 스탬프가 위치되며 하방에 다수의 삽입홈이 형성된 상부 베이스; 상기 하부 베이스를 기반으로 상부 베이스를 상하 이동을 하며 이를 가이드 해주는 역할을 하는 슬라이드 가이드 바를 포함하는 상부베이스 수직 이동수단; 하부 베이스에 일측이 고정되고 상기 상부 베이스에 형성된 삽입 홈에 코일의 각 권이 삽입될 수 있도록 설치되며 금속스탬프를 감싸듯이 회전하는 스프링 형상의 사각 나선형 코일;상부 지지판 및 하부 지지판 사이에 설치되는 나노 또는 마이크로 스케일의 원하는 패턴을 가지는 금속 스탬프, 상기 금속 스탬프와 동일한 재질의 금속 지지판, 상기 금속 스탬프와 지지판재 사이에 안치되는 고분자 레지스트, 상기 고분자 레지스트를 공급하는 소재공급수단을 포함하되,상기 상부베이스와 하부베이스 사이에는 성형시 금속스탬프와 금속 지지판의 압력을 균일하게 하고 내부에 냉각채널이 형성되어 냉각수를 통과시켜 가열된 금속 스탬프와 금속 지지판을 냉각시켜주는 상후 지지판 및 하부 지지판이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 급속 성형이 가능한 미세 임프린트 리소그래피 장치
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고분자 레지스트 표면에 미세 패턴을 급속으로 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치에 있어서,장치의 내부 하측에 마련되며, 그 상부에 금속 지지판이 위치되는 하부 베이스; 장치의 내부 상측에 마련되며, 그 하부에 금속 스탬프가 위치되며 하방에 다수의 삽입홈이 형성된 상부 베이스; 상기 하부 베이스를 기반으로 상부 베이스를 상하 이동을 하며 이를 가이드 해주는 역할을 하는 슬라이드 가이드 바를 포함하는 상부베이스 수직 이동수단; 하부 베이스에 일측이 고정되고 상기 상부 베이스에 형성된 삽입 홈에 코일의 각 권이 삽입될 수 있도록 설치되며 금속스탬프를 감싸듯이 회전하는 스프링 형상의 사각 나선형 코일;상부 지지판 및 하부 지지판 사이에 설치되는 나노 또는 마이크로 스케일의 원하는 패턴을 가지는 금속 스탬프, 상기 금속 스탬프와 동일한 재질의 금속 지지판, 상기 금속 스탬프와 지지판재 사이에 안치되는 고분자 레지스트, 상기 고분자 레지스트를 공급하는 소재공급수단을 포함하되,상기 하부 베이스, 상부 베이스, 슬라이드 가이드 바, 상부 지지판, 하부 지지판은 비도체로 소재를 사용하는 것을 특징으로 하는 급속 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치
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고분자 레지스트에 미세 패턴을 급속으로 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 방법에 있어서, 상부 베이스를 상승시켜서 상부베이스와 하부베이스 사이에 공간을 형성 시키는 단계, 패턴이 기록될 고분자 레지스트를 공급수단에 의해 금속스탬프와 금속 지지판 사이에 안치시키는 단계, 압력조절수단을 가동하여 챔버내부의 압력을 조절하여 진공화하는 단계, 스프링형상의 나선형 코일에 고주파를 흘려 금속스탬프와 금속 지지판재를 급속 가열하는 단계, 가열된 금속스탬프와 금속 지지판에 의해서 고분자 레지스트의 표면이 순간적으로 가열된 상태에서 금속스탬프를 가압함으로써 금속스탬프에 각인된 미세 패턴이 고분자 레지스트에 전사되는 단계, 가열 가압 후 코일의 전류를 차단하고 상부 및 하부 지지판에 냉각수를 흘려 금속스탬프와 금속 지지판을 냉각시켜 고분자 레지스트를 냉각하는 단계, 상부베이스를 상승시키는 단계, 금속스탬프와 금속 지지판을 열고 성형물을 추출하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 급속 성형이 가능한 미세 임프린트 리소그래피 가열방법
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