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금형의 박막 형성 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2014010058
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 금형의 박막 형성 방법 및 장치를 개시한다. 금형의 박막 형성장치는 진공챔버와, 이 진공챔버의 내에 설치되며 모터에 의해 정,역회전되는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 설치되는 금형과 대응되는 측에 위치되는 스퍼터 건과, 상기 진공챔버에 설치되어 상기 턴테이블을 지지하며 스퍼터 건에 대해 턴테이블의 각도를 조절하는 턴테이블 각도 조절수단을 구비한다. 이 장치는 음영효과에 의한 박막의 불균일한 증착을 근본적으로 방지할 수 있다. 금형, 박막, 음영효과
Int. CL C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020060104676 (2006.10.26)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0823322-0000 (2008.04.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황연 대한민국 충남 공주시
2 이호재 대한민국 광주광역시 광산구
3 이기용 대한민국 광주광역시 광산구
4 박순섭 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0778945-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.06.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0042406-05
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0494698-25
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0814445-63
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0894842-39
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.12.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0894843-85
9 등록결정서
Decision to grant
2008.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0183291-86
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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진공챔버와, 이 진공챔버의 내에 설치되며 모터에 의해 정,역회전되는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 설치되는 금형과 대응되는 측에 위치되는 스퍼터 건과, 상기 진공챔버에 설치되어 상기 턴테이블을 지지하며 스퍼터 건에 대해 턴테이블의 각도를 조절하는 턴테이블 각도 조절수단을 구비하며, 상기 턴테이블 각도 조절수단은 상기 챔버에 고정되는 고정 베이스부재와, 상기 고정 베이스부재의 중앙부로부터 돌출되는 회동축이 힌지 결합되며 턴테이블이 설치되는 회동베이스 부재와, 상기 회동베이스부재에 나사 결합되며 단부가 상기 고정 베이스부재에 접촉되어 상기 고정 베이스 부재에 대해 회동베이스 부재의 각도를 조정하기 위한 세 개의 스크류들을 구비하고, 상기 테이블에 장착되는 금형과 대응되는 챔버에 각도조절수단에 의해 각도 조절되는 이온건을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 금형의 박막 형성장치
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.