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소수성 박막의 잉크젯 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2014010061
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법은 소수성 잉크를 제조하는 단계와, 소수성박막이 형성될 기판을 가열하는 단계와 가열된 기판의 온도를 유지하면서 상기 제조된 소수성 잉크를 잉크젯 프린팅하는 단계, 및 잉크젯프린팅에 의한 패턴을 갖는 기판을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 잉크젯패터닝을 이용하여 소수성 박막을 기판에 코팅하므로 그 공정이 간단하여 비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다. 테프론, 소수성박막, 잉크젯프린팅
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020070082188 (2007.08.16)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0858722-0000 (2008.09.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.16)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상호 대한민국 서울 관악구
2 강경태 대한민국 서울 서초구
3 강희석 대한민국 경기 용인시 수지구
4 신권용 대한민국 경기 남양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0590888-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0028332-20
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0374880-93
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소수성박막을 기판에 형성하기 위한 잉크젯 패터닝방법에 있어서, 소수성 잉크를 제조하는 단계;상기 소수성박막이 형성될 기판을 가열하는 단계;상기 가열된 기판의 온도를 유지하면서 상기 제조된 소수성 잉크를 잉크젯 프린팅하는 단계; 및상기 잉크젯프린팅에 의한 패턴을 갖는 기판을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 소수성 잉크는 테프론을 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 소수성 잉크 제조단계는 3M사의 3M사의 FC722과 FC40을 혼합하여 잉크를 제조하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
4 4
제 2항에 있어서, 상기 소수성 잉크 제조단계는 일본의 아사히글래스(asahi glass)사의 CYTOPTM CTL-809M과 CT-solv 180을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
5 5
제 2항에 있어서, 상기 소수성 잉크 제조단계는 듀퐁(du pont)사의 테프론 AF와 전용솔벤트를 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 기판가열단계는 기판의 온도가 90도 내지 150도가 되도록 가열하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 열처리하는 단계는질소분위기의 오븐을 사용하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 열처리하는 단계는 110도 내지 150도의 온도로 수행하는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 소수성 잉크를 잉크젯프린팅하여 생성된 패턴은 140마이크로미터 이하의 선폭을 갖는 것을 특징으로 하는 소수성 박막의 잉크젯 패터닝방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.