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유연성 기판 브래그 격자 광도파로 스트레인 센서

  • 기술번호 : KST2014010070
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소정의 물체에 부착하여 물체의 변형에 따른 스트레인 값을 측정하는 스트레인 센서에 관한 것으로, 플라스틱으로 된 유연성(flexible) 기판; 상기 유연성 기판 상부에 형성된 폴리머 광도파로; 및 상기 광도파로 상에 형성된 하나 이상의 폴리머 브래그 격자;를 포함하는 특징이 있다. 본 발명의 스트레인 센서는 상대적으로 유연한 플라스틱 기판 상에 폴리머 광도파로와 브래그 격자를 직접 집적시켜 제작함으로써 자유롭게 구부러지고 인장성이 우수하고, 10,000με이상의 인장을 측정할 수 있는 장점이 있으며, 각각 다른 격자 상수 및 상대적 각도를 갖는 다수의 브래그 격자를 단일한 스트레인 센서에 집적하여 3축 스트레인 정보를 얻을 수 있는 장점이 있으며, 플라스틱 기판의 열팽창 계수와 광도파로의 열광학 계수의 상쇄효과에 의해 낮은 온도의존성을 갖는 장점이 있다. Bragg reflection optical waveguides (브래그 반사 광도파로), Flexible substrate optical device (유연성 기판 광도파로 소자), Polymeric optical waveguides (폴리머 광도파로), Optical strain sensor (스트레인 측정 광센서)
Int. CL G02B 6/124 (2006.01) G02B 6/00 (2006.01)
CPC G02B 6/02076(2013.01) G02B 6/02076(2013.01) G02B 6/02076(2013.01) G02B 6/02076(2013.01) G02B 6/02076(2013.01) G02B 6/02076(2013.01)
출원번호/일자 1020070099766 (2007.10.04)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0930127-0000 (2009.11.27)
공개번호/일자 10-2009-0034509 (2009.04.08) 문서열기
공고번호/일자 (20091207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오민철 대한민국 부산광역시 해운대구
2 김경조 대한민국 부산 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2007-0713206-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.08.18 수리 (Accepted) 9-1-2008-0053643-01
4 등록결정서
Decision to grant		 2009.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0360741-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
소정의 물체에 부착하여 물체의 변형에 의하여 발생하는 스트레인 값을 측정하는 스트레인 센서에 있어서, 플라스틱으로 된 유연성(flexible) 기판; 상기 유연성 기판 상부에 형성된 폴리머 광도파로; 및 상기 광도파로 상에 형성된 하나 이상의 폴리머 브래그 격자; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연성기판 광도파로 스트레인 센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 유연성기판 광도파로 스트레인 센서는 서로 다른 각도 및 서로 다른 격자 주기를 갖는 둘 이상의 상기 브래그 격자가 단일한 광도파로로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유연성기판 광도파로 스트레인 센서
3 3
제 2항에 있어서, 상기 유연성기판 광도파로 스트레인 센서는 서로 다른 격자 주기를 가지며 상대 각이 90도 및 45도인 3개의 브래그 격자를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유연성기판 광도파로 스트레인 센서
4 4
제 1항에 있어서, 상기 폴리머 광도파로의 폴리머는 음의 열광학계수(thermo-optic coefficient)를 가지며, 상기 유연성 기판은 양의 열팽창계수(thermal expansion coefficient)를 가져 상기 유연성기판 광도파로 스트레인 센서가 기존 실리콘 기판상에 제작된 소자에 비하여 낮은 온도 의존성을 갖는 것을 특징으로 하는 유연성기판 광도파로 스트레인 센서
5 5
제 1항 내지 제 4항에서 선택된 어느 한 항의 유연성기판 광도파로 스트레인 센서를 제조하기 위한 제조 방법에 있어서, (i) Si 기판 상부에 Au를 함유하는 막을 형성시키는 단계; (ii) 상기 Au를 함유하는 막의 상부 및 Si 기판 상부에 SU-8 폴리머층을 형성시키는 단계; (iii) 상기 SU-8 폴리머층 상부에 플라스틱 기판층을 형성시키는 단계; (iv) 상기 플라스틱 기판층 상부에 폴리머 광도파로 및 브래그 격자를 형성시키는 단계; 및 (v) 상기(ii) 단계의 상기 Au를 함유하는 막 상부로 형성된 SU-8 폴리머층까지 절단하여 유연성기판 광도파로 스트레인 센서를 얻는 단계; 를 포함하여 제조되는 것을 특징으로 하는 광도파로 스트레인 센서의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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