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대면적 마이크로 구조물의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014010133
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3차원 형상의 마이크로 구조물을 형성함에 있어서 마이크로 광조형 기술의 전사방식을 이용해 수 ㎛의 정밀도를 유지하면서 수 cm까지의 대면적을 갖는 마이크로 구조물을 형성할 수 있도록 하기 위한 대면적 마이크로 구조물의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 대면적 마이크로 구조물의 제조방법은 형성하고자 하는 3차원의 마이크로 구조물의 모델 데이터로부터 적층 두께에 따라 슬라이싱한 각 단위층의 단면 윤곽으로 이루어지는 단면 데이터를 획득한 후, 단면 데이터의 각 단위층별 단면 윤곽을 가로 방향과 세로 방향으로 정해진 수만큼 분할하여 다수개의 분할 이미지로 이루어지는 세그먼트 데이터를 획득한다. 그리고, 세그먼트 데이터의 분할 이미지를 연속적으로 접속시키면서 각 단위층을 형성하고, 각 단위층을 순차적으로 적층하여 3차원의 마이크로 구조물을 형성한다. 또한 본 발명의 마이크로 광조형 장치는 광원(20), DMD(36)가 설치되는 광조사 유니트(30), 광조사 유니트(30)를 X 및 Y 방향으로 이동시키기 위한 이송 유니트(50), 스테이지(70)를 Z 방향으로 이동시키기 위한 이송 유니트(80) 및 전술한 대면적 마이크로 구조물의 제조방법에 따라 공정의 진행을 제어하는 제어부(90)로 이루어진다.
Int. CL B29C 67/00 (2006.01) B81C 99/00 (2010.01)
CPC
출원번호/일자 1020070078035 (2007.08.03)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0895864-0000 (2009.04.24)
공개번호/일자 10-2009-0013901 (2009.02.06) 문서열기
공고번호/일자 (20090506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최재원 대한민국 부산 해운대구
2 하영명 대한민국 부산 금정구
3 박인백 대한민국 부산 남구
4 이석희 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 백승준 대한민국 부산광역시 동구 중앙대로 ***, **층 ****호, ****호(초량동, 국제오피스텔)(특허법인신태양(부산분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0566721-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0016900-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0623842-32
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0043879-60
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0043910-99
7 등록결정서
Decision to grant
2009.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0068798-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
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형성하고자 하는 3차원의 마이크로 구조물의 모델 데이터로부터 적층 두께에 따라 슬라이싱한 각 단위층의 단면 윤곽으로 이루어지는 단면 데이터를 획득하는 단계와; 상기 단면 데이터의 각 단위층별 단면 윤곽을 가로 방향과 세로 방향으로 정해진 수만큼 분할하여 다수개의 분할 이미지로 이루어지는 세그먼트 데이터를 획득하는 단계 및; 상기 세그먼트 데이터의 분할 이미지를 연속적으로 접속시키면서 각 단위층을 형성하고, 각 단위층을 순차적으로 적층하여 상기 3차원의 마이크로 구조물을 형성하는 단계를 포함하여, 마이크로 광조형 기술의 전사방식을 이용해 수 cm까지의 3차원 형상의 마이크로 구조물을 형성하되; 상기 세그먼트 데이터를 획득하는 단계는 상기 다수개의 분할 이미지에서 연속적으로 접속되는 분할 이미지가 서로의 경계에서 겹침 영역을 갖도록 하고, 상기 세그먼트 데이터의 분할 이미지를 연속적으로 접속시키면서 각 단위층을 형성하는 단계는 연속적으로 접속되는 분할 이미지가 서로의 경계를 기준으로 상기 겹침 영역에서 서로 겹치도록 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 마이크로 구조물의 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 세그먼트 데이터의 분할 이미지를 연속적으로 접속시키면서 각 단위층을 형성하는 단계는 상기 분할 이미지의 겹침 영역에서의 광량이 내측에서 외측으로 점진적으로 감소되도록 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 마이크로 구조물의 제조방법
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5 5
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