| 요약 |
본 발명은, 액체상의 프린팅물질을 수용하는 매니폴더와, 상기 매니폴더와 연통되는 분사챔버를 갖는 카트리지와; 상기 카트리지의 분사챔버측 외측에 설치되는 패터닝용 샘플홀더를 갖는 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치에 있어서, 상기 분사챔버 외측에 X-Y 평면방향으로 미세 유동 가능하게 설치되며, 100nm이하의 단일의 분사홀을 갖는 쉐도우마스크와; 상기 쉐도우마스크를 미세 유동 시키는 엑츄에이터와; 고전압발생기와, 상기 고전압발생기로부터 전원을 인가받으며 상기 분사챔버 내에 설치되어 양전하를 형성하는 전원공급전극과, 상기 쉐도우마스크를 사이에 두고 상기 샘플홀더에 음전하를 형성하는 대향전극을 가지고 상기 분사챔버로부터 상기 샘플홀더를 향해 유도방전을 형성하는 분사유도유닛과; 미리 입력된 패터닝 데이터에 대응하는 패터닝 위치로 상기 쉐도우마스크의 분사홀이 이동하도록 상기 엑츄에이터의 구동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 패터닝의 정밀도가 향상되고, 초미세 패터닝과 임의 형상의 패터닝이 가능하며, 프린팅물질의 분사구조가 간단한 나노 패터닝용 프린팅헤드 장치가 제공된다. 프린팅헤드, 패터닝, 쉐도우마스크, 엑츄에이터, 나노
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