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수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자

  • 기술번호 : KST2014010735
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자에 관한 것으로, 얇은 Pd층을 형성하고 이의 면상에 수직하게 자화된 강자성층을 반복 형성한 2개 이상의 "Pd층/강자성층" 또는 "강자성층/Pd층"으로 자유층 및 고정층을 형성함으로써, 전체 두께가 얇아짐은 물론 높은 자기저항비를 가짐과 동시에 자유층에 낮은 보자력을 갖게 되어, 미세한 외부 자기장의 변화도 감지할 수 있어 각종 바이오 센서 등에 응용될 수 있고, 비휘발성 메모리 소자로 이용될 경우에는 기입시 전력 소모를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다. 수직자기이방성, 스핀밸브, 자기저항소자
Int. CL H01L 27/115 (2006.01) H01L 21/8247 (2006.01)
CPC H01L 27/1159(2013.01) H01L 27/1159(2013.01)
출원번호/일자 1020070127213 (2007.12.07)
출원인 상지대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0905737-0000 (2009.06.25)
공개번호/일자 10-2009-0060063 (2009.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20090701) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.07)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 상지대학교산학협력단 대한민국 강원도 원주시 상지대

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주호완 대한민국 충남 천안시
2 허장 대한민국 경기 의정부시
3 안진희 대한민국 서울 송파구
4 이미선 대한민국 충남 홍성군
5 김선욱 대한민국 경기 군포시
6 이기암 대한민국 경기 성남시 분당구
7 황도근 대한민국 강원 원주시 명

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권오준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠*차 ****호 (역삼동)(소중한특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 상지대학교산학협력단 대한민국 강원도 원주시 상지대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0883800-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0051232-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0538869-92
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.12.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0874240-30
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0874325-12
7 등록결정서
Decision to grant
2009.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0127158-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2010-5245122-10
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번호 청구항
1 1
삭제
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자유층/비자성층/고정층/반강자성층을 포함하여 구성된 스핀밸브 자기저항소자에 있어서, 상기 자유층 및 상기 고정층은 각각 "Pd층/제1강자성층" 또는 "제1강자성층/Pd층"이 2번 이상 N번 반복하여 증착되고, 상기 제1강자성층은 상기 Pd층 면상에 수직으로 자화된 것이고, 상기 자유층은 소정의 기판상에 형성된 버퍼층과 상기 비자성층 사이에 형성되고, 상기 버퍼층 상부에 상기 자유층을 이루는 N개의 "Pd층/제1강자성층"이 형성되고, 상기 제1강자성층과 상기 비자성층 사이에 Pd층 및 수직으로 자화된 제2강자성층이 순차적으로 더 증착되어 형성되고, 상기 비자성층은 상기 제2강자성층 상부에 증착되며, 상기 고정층은 상기 비자성층과 상기 고정층을 이루는 N개의 "Pd층/제1강자성층" 사이에 수직으로 자화된 제2강자성층이 더 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자
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자유층/비자성층/고정층/반강자성층을 포함하여 구성된 스핀밸브 자기저항소자에 있어서, 상기 자유층 및 상기 고정층은 각각 "Pd층/제1강자성층" 또는 "제1강자성층/Pd층"이 2번 이상 N번 반복하여 증착되고, 상기 제1강자성층은 상기 Pd층 면상에 수직으로 자화된 것이고, 상기 반강자성층은 소정의 기판상에 형성된 버퍼층과 상기 고정층 사이에 형성되고, 상기 고정층은 상기 반강자성층 상부에 상기 고정층을 이루는 N개의 "제1강자성층/Pd층"이 형성되고, 상기 Pd층 상부에 수직으로 자화된 제2강자성층이 더 증착되어 형성되고, 상기 비자성층은 상기 제2강자성층 상부에 증착되며, 상기 자유층은 상기 비자성층과 상기 자유층을 이루는 N개의 "제1강자성층/Pd층" 사이에 수직으로 자화된 제2강자성층 및 Pd층이 순차적으로 더 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 Pd층은 0
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제 4 항에 있어서, 상기 제1강자성층은 Co층이고, 상기 제2강자성층은 Co층 또는 CoFe 합금층인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 제2강자성층의 CoFe 합금층은 Co와 Fe의 중량비가 5:5 내지 9:1인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 기판은 Si, SiO2 및 유리 중에서 선택된 어느 하나이고, 상기 버퍼층은 Ta층인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 비자성층은 Cu층 또는 Al2O3층인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 스핀밸브 자기저항소자
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 자유층은 [Pd(0
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 제2강자성층은 Co(0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.