요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약
본 발명은 반도체 패키지의 삼차원 시각 검사방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 집적도가 높아지고 소자의 크기가 작아지는 고밀도 반도체 패키지의 삼차원 검사를 한 대의 카메라를 사용하여 수행할 있는 반도체 패키지의 삼차원 시각 검사방법에 관한 것이다.본 발명은 LED 조명과 한 대의 카메라를 사용하되 거리 정보를 추출할 수 있도록 스테레오 영상을 얻을 수 있는 광학계를 제안하고 이를 이용한 삼차원 측정 및 검사기술을 제안한다.본 발명은 검사를 원하는 목표지점으로부터 카메라까지의 거리를 추출하고 이들로부터 근사된 삼차원 공간상에서 평면의 방정식을 계산한 후 각 목표지점의 삼차원 정보가 평면으로부터 떨어진 분포를 분석하여 패키지 전체의 평면도 검사를 수행한다.본 발명에 의하면 레이저 광원과 같은 별도의 특수 광원장치 없이도 한 대의 카메라만을 사용하여 삼차원 시각검사를 수행함으로써 종래의 삼차원 검사장비보다 가격을 50%이하로 낮출 수 있는 효과가 있다.삼차원 시각검사, 카메라, 프리즘 광학계, 볼의 높이 측정, 리드의 높이 측정, BGA 패키지, SOP, 평면성 검사.
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번호
서류명
접수/발송일자
처리상태
접수/발송번호
1
특허출원서
2000.10.27
수리 (Accepted)
1-1-2000-0225937-13
2
출원인정보변경(경정)신고서
2002.03.02
수리 (Accepted)
4-1-2002-0020822-81
3
대리인사임신고서
2002.03.08
수리 (Accepted)
1-1-2002-5061317-21
4
선행기술조사의뢰서
2002.04.19
수리 (Accepted)
9-1-9999-9999999-89
5
선행기술조사보고서
2002.05.23
수리 (Accepted)
9-1-2002-0005863-51
6
의견제출통지서
2002.05.29
발송처리완료 (Completion of Transmission)
9-5-2002-0185130-73
7
지정기간연장신청서
2002.07.29
수리 (Accepted)
1-1-2002-0244910-40
8
지정기간연장신청서
2002.08.29
수리 (Accepted)
1-1-2002-0282577-18
9
명세서 등 보정서
2002.09.30
보정승인 (Acceptance of amendment)
1-1-2002-0321273-04
10
의견서
2002.09.30
수리 (Accepted)
1-1-2002-0321235-79
11
등록결정서
2003.03.21
발송처리완료 (Completion of Transmission)
9-5-2003-0101594-21
12
출원인정보변경(경정)신고서
2009.12.15
수리 (Accepted)
4-1-2009-5247056-16
13
출원인정보변경(경정)신고서
2014.02.19
수리 (Accepted)
4-1-2014-5022002-69
기술번호
KST2014011393
자료제공기관
NTB
기술공급기관
한국과학기술연구원
기술명
반도체 패키지의 삼차원 시각 검사방법
기술개요
본 발명은 반도체 패키지의 삼차원 시각 검사방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 집적도가 높아지고 소자의 크기가 작아지는 고밀도 반도체 패키지의 삼차원 검사를 한 대의 카메라를 사용하여 수행할 있는 반도체 패키지의 삼차원 시각 검사방법에 관한 것이다.본 발명은 LED 조명과 한 대의 카메라를 사용하되 거리 정보를 추출할 수 있도록 스테레오 영상을 얻을 수 있는 광학계를 제안하고 이를 이용한 삼차원 측정 및 검사기술을 제안한다.본 발명은 검사를 원하는 목표지점으로부터 카메라까지의 거리를 추출하고 이들로부터 근사된 삼차원 공간상에서 평면의 방정식을 계산한 후 각 목표지점의 삼차원 정보가 평면으로부터 떨어진 분포를 분석하여 패키지 전체의 평면도 검사를 수행한다.본 발명에 의하면 레이저 광원과 같은 별도의 특수 광원장치 없이도 한 대의 카메라만을 사용하여 삼차원 시각검사를 수행함으로써 종래의 삼차원 검사장비보다 가격을 50%이하로 낮출 수 있는 효과가 있다.삼차원 시각검사, 카메라, 프리즘 광학계, 볼의 높이 측정, 리드의 높이 측정, BGA 패키지, SOP, 평면성 검사.
