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흡수형 물질로 이루어지며 사용자가 원하는 필터의 광밀도 분포 함수값에 대응하여 입사면과 출사면 사이의 두께가 연속적으로 가변되어 입사빔의 빛 세기 형태를 조정하기 위한 제1렌즈와, 상기 제1렌즈와 동일하거나 실질적으로 동일한 굴절률을 갖는 물질로 이루어지며, 입사면이 상기 제1렌즈의 곡면 출사면에 대응하는 곡면으로 이루어지고 출사면이 광축에 수직으로 형성되어 상기 제1렌즈로부터 출사되는 빔의 형태 변형을 막기 위한 제2렌즈로 구성되며, 상기 사용자가 원하는 필터의 광밀도 분포 함수값(A(x,y))은 원하는 조사 빔의 세기 분포 함수(F(Kx,Ky))에 따라 하기 수학식 2로부터 구해지는 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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제1항에 있어서, 상기 제1렌즈의 입사면은 광축에 수직이고 출사면은 상기 광밀도 분포 함수값에 대응하는 곡면을 이루는 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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제1항에 있어서, 상기 제1렌즈는 유리, 플라스틱 및 이들과 유사한 특성을 갖는 물질 중 어느 하나로 이루어지며, 광흡수용 색소가 첨가된 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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제1항에 있어서, 상기 제1렌즈는 광흡수 특성을 갖는 유리, 플라스틱 및 이들과 유사한 특성을 갖는 물질 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 제1렌즈의 물질은 모든 파장에 대하여 흡수 특성의 차이가 적은 물질로 선택되는 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 렌즈는 광 접촉(Optical Contact) 방식의 접합 및 제1 및 제2 렌즈와 동일한 굴절률을 갖는 접착제를 사용한 접합 중 어느 하나의 방식에 의해 더블렛 형태로 제작되는 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 렌즈는 더블렛 형태로 제작되고, 필터의 광축방향 두께는 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 빔 세기분포 조정용 연속 중성밀도 필터
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