맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 투과 형 마이크로 포커스엑스선관

  • 기술번호 : KST2014011482
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 탄소나노튜브(Carbon nanotube) 전계방출형 음극, 삼극관형 전자총, 전자빔 집속 광학계 및 투과형 엑스선 타겟을 이용하여, 직경이 수 마이크로미터 이하의 크기를 갖는 엑스선을 발생하는 마이크로 포커스 엑스선관에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마이크로 포커스 엑스선관은, 핀 형 금속 팁의 뾰족한 일단에 탄소나노튜브가 형성된 팁 형 탄소나노튜브 음극 전극; 상기 음극 전극에 이격되어 설치되며, 상기 음극 전극 방향으로 구부러져서 형성되는 게이트 전극; 상기 게이트 전극에 이격되어 설치되며, 상기 게이트 전극 방향으로 구부러져서 형성되어 상기 음극 전극에서 발생된 전자빔을 가속하고 가속된 전자빔이 후면으로 통과할 수 있도록 어퍼처(aperture)가 형성된 양극 전극을 포함하여 구성된 전자총부; 상기 전자총부와 연결되며, 내부의 진공 상태를 유지하고 전기적으로 접지되어 있는 진공챔버; 상기 진공챔버 후면에 연결되며, 상기 인출된 전자빔을 집속하는 전자빔 집속 광학계; 및, 상기 전자빔 집속 광학계의 후면에 접하여 연결되며, 상기 전자빔 집속 광학계에서 집속된 전자빔이 충돌하여 엑스선이 발생되는 투과형 엑스선 발생부를 포함하고, 본 발명에 따른 마이크로 포커스 엑스선관에 의하면, 고휘도 전자빔원인 탄소나노튜브 전계방출원을 사용함으로써 고해상도 엑스선 비파괴검사 및 의료영상 분야에 필수적인 마이크로 포커스 엑스선원의 휘도(Brightness)를 증가할 수 있으며, 기존 필라멘트 음극 기반의 엑스선원에 비해 전원 인가 구조가 단순하여 소형화가 유리하고 소비전력을 낮출 수 있다. 뿐만 아니라 팁 형 탄소나노튜브 음극 전극의 직경으로 전자 인출부의 크기를 조절하여 보다 집속된 전자빔으로 엑스선 영상의 공간 분해능이 향상될 수 있다. 마이크로 포커스 엑스선관, 팁 형 탄소나노튜브 음극, 전계방출원, 삼극관 전자총, 전자빔 집속 광학계, 투과형 엑스선 타겟
Int. CL C01B 31/02 (2011.01) H01J 35/06 (2011.01)
CPC H01J 35/06(2013.01) H01J 35/06(2013.01) H01J 35/06(2013.01) H01J 35/06(2013.01)
출원번호/일자 1020070105507 (2007.10.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0906148-0000 (2009.06.29)
공개번호/일자 10-2009-0039981 (2009.04.23) 문서열기
공고번호/일자 (20090703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.19)
심사청구항수 12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조성오 대한민국 대전 유성구
2 허성환 대한민국 대전 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0749356-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0029208-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0082111-20
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.03.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0146948-50
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0146949-06
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0263104-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
핀 형 금속 팁의 뾰족한 일단에 탄소나노튜브가 형성된 팁 형 탄소나노튜브 음극 전극; 상기 음극 전극에 이격되어 설치되며, 상기 음극 전극 방향으로 구부러져서 형성되는 게이트 전극; 상기 게이트 전극에 이격되어 설치되며, 상기 게이트 전극 방향으로 구부러져서 형성되어 상기 음극 전극에서 발생된 전자빔을 가속하고 가속된 전자빔이 후면으로 통과할 수 있도록 어퍼처(aperture)가 형성된 양극 전극을 포함하여 구성된 전자총부; 상기 전자총부와 연결되며, 내부의 진공 상태를 유지하고 전기적으로 접지되어 있는 진공챔버; 상기 진공챔버 후면에 연결되며, 인출된 상기 전자빔을 집속하는 전자빔 집속 광학계; 및, 상기 전자빔 집속 광학계의 후면에 접하여 연결되며, 상기 전자빔 집속 광학계에서 집속된 전자빔이 충돌하여 엑스선이 발생되는 투과형 엑스선 발생부 를 포함하는 마이크로 포커스 엑스선관
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 팁 형 탄소나노튜브 음극 전극은 직경이 0
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 금속 팁은 텅스텐, 철, 니켈 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 유전영동법, 레이저증착법, 화학증착법, 또는 플라즈마 화학증착법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 게이트 전극과 상기 양극 전극은 상기 팁 형 탄소나노튜브 음극 전극 방향으로 30도 내지 45도 각도로 전극면이 기울어진 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 진공챔버는 T자형으로 3방향에 개구부가 형성되어 있는 원통으로서, 일측 개구부에 상기 양극 전극과 상기 전자빔 어퍼처가 연결될 수 있으며, 반대측 개구부에는 상기 전자총부를 고정하고 중심축 조정이 가능하도록 하는 결합돌부와 오링(O-Ring) 함입부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 전자빔 집속 광학계는 내부가 비어 있는 원통형으로, 양단 개구부는 상기 진공챔버에 연결되는 렌즈 전면 플랜지와 상기 투과형 엑스선 발생부에 연결되는 렌즈 후면 플랜지를 구비하며, 외부 둘레를 둘러싼 제1 렌즈 원통과 내부 둘레를 둘러싼 제2 렌즈 원통, 전자빔이 통과하는 전자빔 관, 그리고 상기 제1 렌즈 원통과 제2 렌즈 원통 사이 공간에 설치되어 자기장을 발생하는 전자기 코일을 구비한 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 렌즈 전면 플렌지와 상기 렌즈 후면 플렌지, 상기 제1 렌즈 원통은 자철(Magnetic iron) 재질의 금속으로 형성되고, 상기 제2 렌즈 원통와 상기 전자빔 관은 비자철 금속 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 투과형 엑스선 발생부는 상기 전자빔 집속 광학계에 연결되는 제1 타겟 플렌지와 투과형 엑스선 타겟을 고정하는 제2 타겟 플렌지와 제3 타겟 플렌지, 내부 진공을 유지하기 위한 다수의 오링을 구비한 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 투과형 엑스선 타겟은 베릴륨 엑스선 창 위에 텅스텐 박막이 적층된 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 투과형 엑스선 타겟은 몰리브덴(Mo), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W), 구리(Cu) 중 적어도 어느 하나로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 진공챔버 둘레 일측에 형성되는 진공 배기구와 연결되는 진공 배기펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 포커스 엑스선관
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.