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고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치
- 기술번호 : KST2014011545
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 선편광의 입사광이 자신을 투과하여 세 개의 영역별로 다른 편광상태가 되도록 변조하기 위한 삼층편광변조기; 및 상기 삼층편광변조기를 통과한 편광변조된 입사광이 자신을 투과하여 광의 세기분포가 원형에 가까운 초점광을 생성하는 고개구수렌즈를 포함한다. 따라서, 본 발명의 장치는 입사광의 편광을 조절하여 초점평면상에서 원형의 광세기분포를 가지므로 균일한 분해능을 갖도록 하고 DOF를 깊게 할 수 있으므로 반도체의 리소그라피공정상의 수율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다. 편광변조, 삼층편광, 고개구수렌즈 |
|---|---|
| Int. CL | G02B 26/00 (2006.01) |
| CPC | G02B 5/3025(2013.01) G02B 5/3025(2013.01) G02B 5/3025(2013.01) G02B 5/3025(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020070057058 (2007.06.12) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-0916623-0000 (2009.09.02) |
| 공개번호/일자 | 10-2008-0109130 (2008.12.17) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20090909) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2007.06.12) |
| 심사청구항수 | 16 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 공홍진 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 이신욱 | 대한민국 | 서울 서초구 |
| 3 | 김태형 | 대한민국 | 부산 동래구 |
| 4 | 최진 | 대한민국 | 서울 은평구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 공인복 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소)) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.06.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0423492-38 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.05.02 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.06.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0039082-68 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.09.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0503834-96 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.12.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0828906-16 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.12.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0828909-53 |
| 7 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2009.04.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0180322-23 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2009.04.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0264205-91 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2009.04.30 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2009-0264195-11 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2009.06.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0271686-38 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 입사광의 편광상태를 변조하기 위한 편광변조장치에 있어서, 선편광의 입사광이 자신을 투과하여 세 개의 영역별로 다른 편광상태가 되도록 변조하되 광의 진행방향을 Z축으로 하고, 광의 진행방향의 횡단면에 직교하는 축을 X축과 Y축으로 정의된 좌표축에 대하여, 상기 세 개의 영역은 상기 선편광된 입사광을 X축에 평행한 편광을 가지도록 변조하는 제 1영역; 상기 선편광된 입사광을 Y축에 평행한 편광을 가지도록 변조하는 제 2영역; 및 상기 선편광된 입사광을 X축에 평행한 편광을 가지도록 변조하는 제 3영역을 갖는 삼층편광변조기; 및 상기 삼층편광변조기를 통과한 편광변조된 입사광이 자신을 투과하여 광의 세기분포가 원형태를 갖는 초점광을 생성하는 고개구수렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 제 3영역의 외경(w3)은 입사광의 빔크기인 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 3영역은 상기 고개구수렌즈를 투과한 초점광 각 영역에 대한 초점과의 각도로 정의되는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 고개구수렌즈는 개구수값에 의해 정의되는 초점각(a)을 갖는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 6 |
6 제 5항에 있어서, 상기 고개구수렌즈의 초점각(a)은 상기 제 1내지 제 3 영역에 대한 초점과의 각도인 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 7 |
7 제 6항에 있어서, 상기 고개구수렌즈의 초점각(a)은 상기 초점과 상기 제 1영역과의 경계와 이루는 각(a1)과 상기 초점과 상기 제 2영역과의 경계와 이루는 각(a2)과 상기 초점과 상기 제 3영역과의 경계와 이루는 각(a3)의 합인 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 8 |
8 제 7항에 있어서, 상기 삼층편광변조기의 제 1영역의 외경(w1)은 여기서, a는 초점각이고, w3은 제 3영역의 외경이고, a1은 초점과 제1영역과의 경계를 이루는 각임 에 의해 구해지는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서, 상기 삼층편광변조기의 제 2영역의 외경(w2)은 여기서, a는 초점각이고, w3은 제 3영역의 외경이고, a3은 초점과 제 3영역과의 경계와 이루는 각임 에 의해 구해지는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 10 |
10 제 9항에 있어서, 상기 고개구수렌즈는 상기 초점과 상기 제 1영역과의 경계와 이루는 각(a1)까지는 X축에서 초점으로 기울어진 편광상태로 초점에 모이는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서, 상기 고개구수렌즈는 상기 초점과 상기 제 1영역과의 경계와 이루는 각(a1)부터 상기 초점과 상기 제 2영역과의 경계와 이루는 각(a2)까지는 Y축으로 유지되는 편광상태로 초점에 모이는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서, 상기 고개구수렌즈는 상기 초점과 상기 제 2영역과의 경계와 이루는 각(a2)부터 상기 초점과 상기 제 3영역과의 경계와 이루는 각(a3)까지는 X축에서 유지되는 편광상태로 초점에 모이는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 13 |
13 초점각(a)을 갖는 고개구수렌즈로 입사하는 입사광의 편광상태를 변조하기 위한 편광변조장치에 있어서, X축에 평행하게 선편광된 입사광이 자신을 투과하여 세 개의 영역별로 다른 편광상태가 되도록 변조하기 위한 삼층편광변조기를 포함하되, 상기 삼층편광변조기는 입사광을 X축에 평행한 편광을 가지도록 변조하는 제 1영역과, 입사광을 Y축에 평행한 편광을 가지도록 변조하는 제 2영역, 및 입사광을 X축에 평행한 편광을 가지도록 변조하는 제 3영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 14 |
14 제 13항에 있어서, 상기 제 3영역의 외경(w3)은 입사광의 빔크기인 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 15 |
15 제 14항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 3영역은 상기 고개구수렌즈를 투과한 초점광 각 영역에 대한 초점과의 각도로 정의되는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 16 |
16 제 15항에 있어서, 상기 삼층편광변조기의 제 1영역의 외경(w1)은 여기서, a는 초점각이고, w3은 제 3영역의 외경이고, a1은 초점과 제1영역과의 경계를 이루는 각임 에 의해 구해지는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 17 |
17 제 16항에 있어서, 상기 삼층편광변조기의 제 2영역의 외경(w2)은 여기서, a는 초점각이고, w3은 제 3영역의 외경이고, a3은 초점과 제 3영역과의 경계와 이루는 각임 에 의해 구해지는 것을 특징으로 하는 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0916623-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20070612 출원 번호 : 1020070057058 공고 연월일 : 20090909 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20090626 청구범위의 항수 : 16 유별 : G02B 26/00 발명의 명칭 : 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조장치 존속기간(예정)만료일 : 20120903 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 334,500 원 | 2009년 09월 03일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2007.06.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0423492-38 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.05.02 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2008.06.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0039082-68 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2008.09.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0503834-96 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.12.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0828906-16 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.12.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0828909-53 |
| 7 | 최후의견제출통지서 | 2009.04.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0180322-23 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2009.04.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0264205-91 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2009.04.30 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2009-0264195-11 |
| 10 | 등록결정서 | 2009.06.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0271686-38 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술번호 | KST2014011545 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술원 |
| 기술명 | 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치 |
| 기술개요 |
본 발명은 고개구수 렌즈의 입사광을 변조하기 위한 삼층 편광 변조 장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 선편광의 입사광이 자신을 투과하여 세 개의 영역별로 다른 편광상태가 되도록 변조하기 위한 삼층편광변조기; 및 상기 삼층편광변조기를 통과한 편광변조된 입사광이 자신을 투과하여 광의 세기분포가 원형에 가까운 초점광을 생성하는 고개구수렌즈를 포함한다. 따라서, 본 발명의 장치는 입사광의 편광을 조절하여 초점평면상에서 원형의 광세기분포를 가지므로 균일한 분해능을 갖도록 하고 DOF를 깊게 할 수 있으므로 반도체의 리소그라피공정상의 수율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다. 편광변조, 삼층편광, 고개구수렌즈 |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 반도체 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345095784 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과06A1106 |
| 연구과제명 | 선도물리교육사업단 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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