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대면적 초정밀 롤 노광 장치

  • 기술번호 : KST2014011788
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저빔 또는 전자빔을 이용하여 롤 표면에 직접 노광을 할 수 있고, 롤 회전축을 중심으로 정속 회전운동은 물론 회전축 방향으로 정속 직선운동을 할 수 있도록 한 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 관한 것이다.이를 위해, 본 발명은 수평방향으로 배치된 회전롤과; 상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과; 상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와; 상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와; 상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과; 상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체를 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치를 제공한다.회전롤, 고정척, 자기부상, 미케니컬 베어링, 스러스트 마그네틱 베어링, 레이저 간섭계, 리니어모터, 전자석, 영구자석, 로크 앤 롤 장치
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70716(2013.01) G03F 7/70716(2013.01) G03F 7/70716(2013.01) G03F 7/70716(2013.01) G03F 7/70716(2013.01)
출원번호/일자 1020060119873 (2006.11.30)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0861001-0000 (2008.09.24)
공개번호/일자 10-2008-0049386 (2008.06.04) 문서열기
공고번호/일자 (20080930) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.11.30)
심사청구항수 31

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오현석 대한민국 경기 수원시 영통구
2 전정우 대한민국 경남 창원시
3 미티카 카라이아니 루마니아 경남 창원시 가음정동
4 정연호 대한민국 경남 창원시
5 강도현 대한민국 경남 창원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0890533-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.06.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0037320-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0572047-31
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2007.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0931353-27
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0070590-69
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0070597-88
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2008.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0229761-01
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2008.05.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2008-0022683-32
10 등록결정서
Decision to grant		 2008.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0358383-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성되되, 상기 롤지지체에는 상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위해 접촉식 또는 비접촉식 지지수단이 설치되는 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서,상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위한 접촉식 지지수단은 상기 롤지지체와 고정척 사이에 원주방향으로 설치된 미케니컬 베어링인 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
4 4
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성되되, 상기 롤지지체에는 상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위해 접촉식 또는 비접촉식 지지수단이 설치되는 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위한 비접촉식 지지수단은 회전롤 축방향의 수직으로 상기 고정척의 상하부에 일정갭을 두고 상기 롤지지체에 설치된 레이디얼 마그네틱 베어링 및 레이디얼 센서를 포함하고, 상기 레이디얼 센서는 고정척과 롤지지체의 간극을 측정하고, 상기 레이디얼 마그네틱 베어링은 상기 레이디얼 센서로부터 측정한 값을 이용하여 고정척을 자기력에 의해 지지하고 고정척과의 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
5 5
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 롤회전수단은 상기 고정척에 설치된 롤회전 모터이고, 상기 롤회전 모터는 상기 고정척의 소직경부 바깥표면에 부착된 영구자석과, 상기 영구자석의 바깥쪽에 일정갭을 두고 설치된 코일을 포함하고, 상기 코일에 전류를 인가하면 상기 영구자석과 코일 사이의 갭에서 회전자계가 발생하고, 이 힘이 고정척에 전달되어 회전롤이 회전하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
6 6
청구항 5에 있어서,상기 고정척의 바깥표면을 따라 스케일이 부착되고, 상기 스케일의 상부에 일정한 간격으로 엔코더가 설치되며, 상기 엔코더가 스케일을 감지하여 상기 회전롤의 회전수 및 회전위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
7 7
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서,상기 리니어 이송부는 상기 롤지지체의 하부에 설치된 리니어 이동자와, 상기 리니어 이동자와 연결되어 상기 롤지지체를 축방향으로 이송시켜주는 볼스크류와, 상기 볼스크류의 일측단에 설치되어 볼스크류를 회전시켜주는 구동모터를 포함하고, 상기 볼스크류는 구동모터의 회전운동을 직선운동으로 변환시켜 상기 리니어 이동자를 이송하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
8 8
청구항 7에 있어서,상기 고정척과 동일한 수평선 상에 위치하도록 상기 롤지지체의 우측에 레이저 간섭계가 설치되고, 상기 레이저 간섭계가 롤지지체의 우측에 있는 고정척 표면을 직접 측정하여 축방향의 절대위치를 측정하고, 상기 측정값을 이용하여 상기 리니어 이송부에 제어명령을 입력하여 상기 회전롤의 축방향 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
9 9
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 리니어 이송부는 상기 롤지지체의 하부에 설치된 리니어 이동자와, 상기 리니어 이동자의 안쪽 하면에 부착된 영구자석과, 상기 리니어 이동자의 하부에 설치된 리니어 고정자와, 상기 영구자석의 하부에 일정갭을 두고 상기 리니어 고정자의 상단에 부착된 코일과, 상기 리니어 고정자의 하부에 설치된 접촉식 가이드레일을 포함하고, 상기 코일에 전류를 인가하면 상기 코일과 영구자석 사이에 수평방향의 힘이 발생하여 리니어 이동자를 이송시키는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
10 10
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성되되, 상기 롤지지체에는 상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위해 접촉식 또는 비접촉식 지지수단이 설치되는 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위한 비접촉식 지지수단은 회전롤의 축방향으로 상기 고정척의 측면 바깥쪽에 일정갭을 두고 상기 롤지지체에 설치된 스러스트 마그네틱 베어링 및 스러스트 센서를 포함하고, 상기 스러스트 센서는 고정척과 롤지지체의 간극을 측정하고, 상기 스러스트 마그네틱 베어링은 상기 스러스트 센서로부터 측정한 값을 이용하여 고정척과의 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
11 11
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서,상기 고정척은 대직경부와 소직경부로 구성되고, 상기 롤회전수단은 상기 고정척의 소직경부의 외표면에 설치된 피구동측 영구자석과, 상기 피구동측 영구자석의 하부에 일정갭을 두고 설치된 구동측 영구자석과, 상기 구동측 영구자석에 회전축으로 연결되어 구동측 영구자석을 회전시키는 구동모터를 포함하고, 상기 구동모터가 회전하면 상기 회전축에 연결된 구동측 영구자석이 회전하고, 상기 구동측 및 피동측 영구자석 사이의 자기력에 의해 피구동측 영구자석이 회전하여 상기 회전롤이 회전하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
12 12
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 고정척은 대직경부와 소직경부로 구성되고, 상기 롤회전수단은 상기 고정척의 대직경부 바깥표면에 부착된 영구자석과, 상기 영구자석의 바깥쪽에 일정갭을 두고 설치된 코일을 포함하고, 상기 코일에 전류를 인가하면 상기 영구자석과 코일 사이의 갭에서 고정척의 직경중심 방향의 자기력과 회전방향의 자기력이 동시에 발생하고, 이 힘이 고정척에 전달되어 회전롤이 부상을 하면서, 동시에 회전하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
13 13
청구항 10에 있어서,상기 회전롤의 일단부를 지지하는 제1고정척은 대직경부 사이에 소직경부를 갖는 "H" 단면으로 형성되고, 상기 회전롤의 타단부를 지지하는 제2고정척은 대직경부와 소직경부를 갖는 "ㅏ" 단면으로 형성되며, 상기 스러스트 마그네틱 베어링이 상기 제1고정척의 좌측 대직경부를 사이에 일정갭을 두고 롤지지체에 마주보게 설치된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
14 14
청구항 4에 있어서,상기 회전롤의 일단부를 지지하는 제1고정척은 돌출부 사이에 수용부를 갖는 "∃" 단면으로 형성되고, 상기 회전롤의 타단부를 지지하는 제2고정척은 돌출부 사이에 수용부를 갖는 "ㅌ" 단면으로 형성되고, 상기 롤지지체의 양단부는 상기 제1 및 제2고정척에 대응되게 형성되며, 상기 고정척의 상하방향으로 상기 롤지지체에 레이디얼 마그네틱 베어링 및 레이디얼 센서가 설치된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
15 15
청구항 10에 있어서,상기 회전롤의 일단부를 지지하는 제1고정척은 돌출부 사이에 수용부를 갖는 "∃" 단면으로 형성되고, 상기 회전롤의 타단부를 지지하는 제2고정척은 돌출부 사이에 수용부를 갖는 "ㅌ" 단면으로 형성되고, 상기 롤지지체의 양단부는 상기 제1 및 제2고정척에 대응되게 형성되며, 상기 고정척의 수평방향으로 상기 롤지지체에 스러스트 마그네틱 베어링이 설치된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
16 16
청구항 10에 있어서,상기 회전롤의 일단부를 지지하는 제1고정척은 대직경부에서 소직경부가 수평방향으로 길게 형성된 "ㅓ" 단면으로 형성되고, 상기 회전롤의 타단부를 지지하는 제2고정척은 대직경부에서 소직경부가 수평방향으로 길게 형성된 "ㅏ" 단면으로 형성되며, 상기 소직경부의 상하방향으로 일정갭을 두고 롤지지체에 레이디얼 마그네틱 베어링 및 레이디얼 센서가 설치되고, 상기 대직경부의 측면에 형성된 영구자석과, 상기 영구자석과 일정갭을 두고 롤지지체에 설치된 코일 사이에서 회전방향의 자기력이 발생되는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
17 17
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 리니어 이송부는 상기 롤지지체의 하단에 설치되고 "C" 단면을 갖는 리니어이동자와, 상기 리니어이동자의 하면에 설치된 영구자석과, 상기 리니어이동자의 하부에 일정갭을 두고 설치되고 "I" 단면을 갖는 비접촉식 리니어가이드레일과, 상기 리니어가이드레일 상단에 상기 영구자석과 일정갭을 두고 설치된 코어리스 코일과, 상기 리니어가이드레일의 상부에 리니어이동자의 하단방향으로 설치된 로워 마그네틱 베어링 및 로워센서을 포함하고, 상기 코일에 전류를 인가하면 상기 코일과 영구자석 사이에 자기력이 발생하여 상기 롤지지체를 자기부상 및 수평방향으로 이송시키며, 상기 로워센서가 리니어가이드레일과 리니어이동자의 수직방향 갭을 측정하여 상기 로워 마그네틱 베어링이 제어신호에 의해 리니어가이드레일과 리니어이동자의 수직방향 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
18 18
청구항 17에 있어서,상기 리니어 이송부는 상기 리니어 가이드레일의 양측면에 상기 리니어 이동자의 내벽면과 일정갭을 두고 설치된 사이드 마그네틱 베어링 및 사이드센서를 더 포함하고, 상기 사이드센서가 리니어가이드레일과 리니어이동자의 측면방향 갭을 측정하여 상기 사이드 마그네틱 베어링이 리니어가이드레일과 리니어이동자의 측면방향 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
19 19
삭제
20 20
회전롤이 수직방향으로 배치되는 되되, 상기 회전롤의 일단부를 지지하는 제1고정척은 소직경부와 대직경부를 갖는 "ㅗ" 단면으로 형성되고, 상기 회전롤의 타단부를 지지하는 제2고정척은 "ㅡ"단면으로 형성되고, 상기 롤지지체는 돌출부 사이에 수용부를 갖는 "ㄷ" 단면으로 형성되며, 상기 롤지지체의 수용부에 제1고정척과 일정갭을 두고 다수의 스러스트 마그네틱 베어링 및 스러스트센서가 설치되어, 상기 스러스트센서가 제1고정척과 롤지지체의 갭을 측정하고, 상기 스러스트 마그네틱 베어링이 제어신호를 받아 상기 제1고정척과 롤지지체에의 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
21 21
청구항 20에 있어서,상기 제2고정척의 외표면에는 영구자석이 원주방향으로 설치되고, 상기 영구자석과 대응하여 일정갭을 두고 슬롯리스 코일이 설치되며, 상기 코일에 전류를 인가하면 상기 영구자석과 코일 사이의 갭에서 회전자계가 발생하고, 이 힘이 제2고정척에 전달되어 회전롤이 회전하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
22 22
청구항 20에 있어서,상기 제1고정척의 소직경부 바깥표면을 따라 스케일이 부착되고, 상기 스케일의 외측에 일정한 간격으로 엔코더가 설치되며, 상기 엔코더가 스케일을 감지하여 상기 회전롤의 회전수 및 회전위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
23 23
청구항 20에 있어서,상기 회전롤의 중앙부에 일정갭을 두고 레이디얼 마그네틱 베어링과 레이디얼 센서가 설치되되, 빔소스를 가운데 두고 상하부에 설치된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
24 24
청구항 20에 있어서,상기 회전롤의 일단부를 지지하는 제1고정척에는 하이드롤릭 실린더가 설치되어 롤지지체를 상하방향으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
25 25
청구항 24에 있어서,상기 회전롤의 타단부를 지지하는 제2고정척과 동일한 수직선 상에 위치하도록 상기 제2고정척의 하측에 레이저 간섭계가 설치되고, 상기 레이저 간섭계가 상기 제2고정척 표면을 직접 측정하여 축방향의 절대위치를 측정하고, 상기 측정값을 이용하여 상기 하이드롤릭 실린더에 제어명령을 입력하여 상기 회전롤의 축방향 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
26 26
청구항 20에 있어서, 상기 스러스트 마그네틱 베어링 및 스러스트 센서는 적어도 3개이상 상기 롤지지체의 수용부에 설치되어 3개 이상 수직방향의 자기력이 발생하고, 상기 자기력의 합성에 의해 회전롤의 자세를 제어하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
27 27
수평방향으로 배치된 회전롤과;상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과;상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와;상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와;상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과;상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체에 의해 떠받쳐진 고정척 및 회전롤을 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 있어서, 상기 회전롤, 제1 및 제2고정척, 롤지지체, 빔소스, 롤회전수단 및 리니어 이송부는 진공챔버의 내부에 포함되는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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청구항 27에 있어서,상기 회전롤의 중앙부를 가운데 두고 일정갭으로 상기 진공챔버의 상하부에 설치된 레이디얼 마그네틱 베어링 및 레이디얼 센서를 포함하고, 상기 레이디얼 센서는 고정척과 레이디얼 마그네틱 베어링의 간극을 측정하고, 상기 레이디얼 마그네틱 베어링은 상기 레이디얼 센서로부터 측정한 값을 이용하여 회전롤의 중앙부를 자기력에 의해 지지하고 고정척과의 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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청구항 20에 있어서,상기 고정척 및 회전롤을 지지하기 위한 비접촉식 지지수단인 마그네틱 베어링은 돌출부 사이에 수용부를 갖는 "ㄷ" 단면으로 형성된 코어와, 상기 돌출부를 사이에 두고 돌출부의 양측면에 형성된 코일을 포함하고, 상기 코일에 전류를 인가하면 상기 코어와, 고정척 및 회전롤 사이에 수직방향으로 자기력이 발생되고, 상기 고정척 및 회전롤는 코어방향으로 부상되는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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청구항 29에 있어서,상기 코어의 내부에는 영구자석이 삽입설치된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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회전롤, 고정척, 레이디얼 마그네틱 베어링, 스러스트 마그네틱 베어링 을 포함하는 롤지지체가 진공챔버의 상단에 고정되어 있고, 빔소스를 리니어 이송부에 위치시켜서 이송될 수 있도록 하여, 상기 회전롤을 고정위치에서 비접촉으로 회전시키면서, 하단의 빔소스를 좌우로 이송시켜 회전롤에 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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청구항 31에 있어서, 상기 리니어 이송부에 피에조모터를 적용하여, 빔소스를 좌우로 이송하되, 영구자석과 코일로 구성된 리니어 이송부에 의해 이송하면서, 동시에 상기 피에조모터를 이용하여 초정밀 위치제어를 하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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청구항 31에 있어서, 상기 빔소스를 좌우로 이송하되, 상기 리니어 이송부에 사이드 마그네틱 베어링 및 사이드 센서와 로우어 마그네틱 베어링 및 로우어 센서를 추가한 자기부상 스테이지를 구성하여 비접촉으로 빔소소를 초정밀 위치제어하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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청구항 31에 있어서, 상기 빔소스를 좌우로 이송하되, 영구자석과 코일만으로 자기부상 스테이지를 구성하여 비접촉으로 빔소소를 초정밀 위치제어 하는 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치
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