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나노분말을 함유하는 하이브리드 타겟을 이용한 연질엑스선 발생 장치

  • 기술번호 : KST2014011874
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 엑스선(X-ray) 발생 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, 액체 용매, 가스 또는 액화 가스에 분산시킨 나노분말을 함유하는 시료 타겟을 이용하여 마이크로 크기의 연질 엑스선(soft X-ray)을 발생시킬 수 있도록 한 연질 엑스선 발생 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 엑스선 발생 장치는: 액체 용매, 가스 또는 액화 가스에 분산된 하나 이상의 나노분말을 함유하는 시료 타겟; 고출력 레이저 또는 펄스 방전을 발생시키기 위한 플라즈마 에너지 공급 시스템; 및 시료 타겟에 플라즈마 에너지 공급 시스템으로부터 제공되는 에너지를 집속함으로써 고온 플라즈마를 발생시켜, 플라즈마 내의 고가 이온들의 전이에 의하여 엑스선을 생성하도록 하는 엑스선 발생부를 포함한다. 엑스선 광원, X-ray, 나노분말, 연질 엑스선, 레이저, 펄스 방전, 레이저 유도 형광법, 하이브리드(hybrid) 타겟
Int. CL C01B 31/02 (2011.01) H01J 35/02 (2011.01)
CPC H01J 35/02(2013.01) H01J 35/02(2013.01) H01J 35/02(2013.01)
출원번호/일자 1020030065288 (2003.09.19)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0557754-0000 (2006.02.27)
공개번호/일자 10-2005-0028762 (2005.03.23) 문서열기
공고번호/일자 (20060306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.09.19)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종욱 대한민국 경상남도창원시가음정
2 석희용 대한민국 경상남도창원시가음정
3 김광훈 대한민국 부산광역시수영구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2003-0348004-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.04.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.05.18 수리 (Accepted) 9-1-2005-0028787-76
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0294939-29
5 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2005.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0472050-30
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2005-0472240-19
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2005-0539772-80
8 의견서
Written Opinion		 2005.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0604910-09
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.10.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0604917-17
10 등록결정서
Decision to grant		 2006.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0097262-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
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번호 청구항
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액체 용매, 가스 또는 액화 가스에 분산된 하나 이상의 나노분말을 함유하는 시료 타겟;상기 하나 이상의 나노분말이 분산된 액체 용매, 가스 또는 액화 가스를 저장하고 이를 레이저 발생을 위한 시료 타겟으로 제공하는 저장부;상기 저장부로부터 제공되는, 상기 나노분말이 분산된 액체 용매, 가스 또는 액화 가스를 처리하여 하나 이상의 나노분말을 함유하는 에어로졸(aerosol) 상태로 변환시키는 에어로졸 발생부;고출력 레이저 또는 펄스 방전을 발생시키기 위한 플라즈마 에너지 공급 시스템;상기 시료 타겟에 상기 플라즈마 에너지 공급 시스템으로부터 제공되는 에너지를 집속함으로써 고온 플라즈마를 발생시켜, 상기 플라즈마 내의 고가 이온들의 전이에 의하여 엑스선을 생성하도록 하는 엑스선 발생부;레이저 유도 형광법에 의하여 상기 에어로졸과 레이저의 상호작용으로 발생되는 레이저 유도 플라즈마를 가시화시켜 상기 에어로졸의 크기를 실시간 모니터링 가능하게 하는 레이저 시트와 카메라 시스템; 상기 엑스선 발생부에서 발생된 엑스선을 검출하여 상기 엑스선의 강도와 스펙트럼을 실시간 분석하는 엑스선 검출기 및 분광기; 상기 엑스선 발생부에서 사용된 상기 에어로졸을 수집하여 상기 저장부로 다시 보낼 수 있는 에어로졸 수집/순환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제3항에 있어서, 상기 나노분말은,나노(nano) 크기의 카본 나노 튜브, 세라믹 분말 및 금속성 분말 중 적어도 한 종류를 포함하는 것임을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
5 5
제3항에 있어서, 상기 나노분말을 분산시키기 위한 액체 용매는,알코올(alcohol), 증류수(distilled water), 우레아 용액(urea solution), 수산화암모늄(ammonium hydroxides), 플로로카본 (fluorocarbon) 중 적어도 하나를 포함하는 것임을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제3항에 있어서, 상기 엑스선 발생부로부터 발생하는 상기 엑스선의 강도 및 스펙트럼은,상기 에어로졸의 크기, 상기 나노분말의 농도 및 상기 나노분말을 구성하는 물질의 성분을 조정함에 의해 제어 가능한 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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제3항에 있어서, 상기 에어로졸 발생부는, 상기 에어로졸 발생부에서의 진동주파수, 유속, 상기 에어로졸이 흘러나오는 모세관의 크기 중 하나 이상의 변수를 제어하여 에어로졸의 크기를 제어하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생 장치
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