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전자 방출원으로서의 탄소나노튜브의 증착을 위한 기판 위에 장착되어 전자빔을 발생하기 위해 다수의 탄소나노튜브 음극들을 구비하며, 상기 다수의 탄소나노튜브 음극들 중 사용된 음극을 새로운 음극으로 교체하기 위해 회전 가능한 원반형 다중 샘플 프루브를 포함하는 음극부; 상기 음극부의 탄소나노튜브 음극들에서 발생되는 전자빔이 양극부로 향하도록 개구가 형성되며 상기 음극부를 절연시키기 위한 제1 절연케이싱; 상기 제1 절연케이싱을 통과한 전자빔을 순차적으로 마이크로 수준으로 집속하기 위한 다수의 전자 집속 렌즈들과, 상기 전자 집속 렌즈들 사이에 샌드위치되어 절연을 위한 다수의 절연층들, 및 상기 전자빔이 관통되는 개구를 제외한 나머지부분을 에워싸도록 형성된 제2 절연케이싱을 포함하는 전자빔 집속부; 상기 제1 절연 케이싱과 상기 전자빔 집속부 사이에 위치되며 텅스텐 그물망을 구비하고 고전압 인가가 가능한 금속재질로 이루어진 그리드 전극부; 상기 원반형 다중 샘플 프루브를 회전시키거나, 새로운 다중 샘플 프루브를 후퇴시킴으로써 상기 음극부의 사용중인 탄소나노튜브 음극을 새로운 것으로 교체하도록 작동하는 음극부 구동부; 상기 양극부, 상기 음극부 및 상기 전자빔 집속부를 외부로부터 보호하는 하우징; 및 상기 양극부 및 상기 전자빔 집속부를 상기 하우징 내에 고정적으로 지지하기 위한 지지대를 포함함을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 전자 집속 렌즈는 내경을 달리하여 다수개 적용함으로써, 이동하는 전자들이 받는 힘을 일정 거리 내에서 불연속적으로 받게 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 마이크로 수준의 집속을 위해 상기 다수의 전자 집속 렌즈를 장착시 각각의 렌즈의 전자빔이 지나가는 구멍의 크기를 점점 작게 하여 전자 빔에 인가되는 힘의 크기를 상기 렌즈의 형상을 이용하여 증가시키고, 상기 구멍의 크기를 일정하게 하고, 각 렌즈에 인가하는 전압의 크기를 조절하여 전자 빔에 적용되는 힘의 크기를 점점 크게 하여 마이크로 포커싱이 가능하게 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1항에 있어서, 상기 음극부 구동부는 상기 다중 샘플 프루브에 장착된 사용중인 음극의 수명이 종료되었을 경우 새로운 음극으로 교체하기 위해 회전 가능한 회전축을 포함하고, 상기 회전축 내에는 외부로부터 음극에 전원을 인가하기 위한 전원공급선이 내장됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제4 항에 있어서, 상기 음극부 구동부는 사용중인 음극들의 수명이 모두 종료되었을 경우 사용되었던 다중 샘플 프루브를 새로운 다중 샘플 프루브로 교체하기 위해 상기 회전축을 상기 하우징으로부터 추출하기 위한 회전축 이동부를 더 포함함을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 하우징은 진공의 유지가 가능한 파이렉스, 유리, 세라믹 또는 스테인리스 강 중 어느 하나로 제작됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 하우징에는 내부를 진공상태로 유지하기 위한 진공 펌프를 더 포함함을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1항에 있어서, 상기 전자빔 집속부는 개구가 전자빔이 관통하는 입구쪽과 출구 쪽의 내경이 동일한 원통 형상을 이루도록 전자 집속 렌즈들과 절연층들이 교대로 적층되어 전자빔이 양극을 향해 진행하는 거리에 따라 받게 되는 전계를 일정하게 함을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 전자빔 집속부은 전자빔이 관통하는 출구 쪽 개구의 내경이 입구 쪽 내경보다 작은 절두 원추형상을 이루도록 전자 집속 렌즈들과 절연층들이 교대로 적층되어 전자빔이 상기 양극부를 향해 진행하는 거리에 따라 받게 되는 전계를 양극에 가까울수록 커지게 하여 전자빔의 모양이 조여드는 형태로 함을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 전자빔 집속부의 전자 집속 렌즈들은 전압 인가가 가능한 스테인리스 강으로 구성된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 전자빔 집속부의 절연층들은 절연에 좋으며 진공상태에서 진공상태를 유지할 수 있는 세라믹으로 구성됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1 항에 있어서, 상기 다중 샘플 프루브는 전압의 인가가 용이한 스테인리스 강으로 구성됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1항에 있어서, 상기 제1 절연케이싱은 세라믹으로 구성됨을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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제1항에 있어서, 상기 다중 샘플 프루브를 상기 하우징의 내외 측으로 상기 하우징의 내부 진공을 유지하면서 탈착이 가능하도록 한 밸브를 더 포함함을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 다중 채널 음극 구조의 마이크로 포커싱 엑스-선관
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