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서로 분리된 제 1 및 제 2 기판;상기 제 1 및 제 2 기판 상부에 각각 형성된 제 1 및 제 2 금속선; 상기 제 1 기판 상부에 상기 제 1 금속선이 피복되도록 형성되며, 귀금속 촉매와 유리 미분말이 첨가된 제 1 담체; 및상기 제 2 기판 상부에 상기 제 2 금속선이 피복되도록 형성되며, 귀금속 촉매가 첨가되지 않고 유리 미분말이 첨가된 제 2 담체를 포함하는 센서 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 기판은 각각 알루미나 기판을 포함하는 센서 소자
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4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 담체는 알루미나 또는 주석 산화물에 귀금속 촉매 및 상기 유리 미분말이 첨가된 페이스트를 이용하여 형성하는 센서 소자
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제 4 항에 있어서, 상기 귀금속은 Pt, Pd, Ag를 포함하는 센서 소자
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제 4 항에 있어서, 상기 유리 미분말은 0
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8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 담체는 알루미나 또는 주석 산화물에 상기 유리 미분말이 첨가된 페이스트를 이용하여 형성하는 센서 소자
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9
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10
제 8 항에 있어서, 상기 유리 미분말은 10 내지 40wt% 첨가된 센서 소자
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11 |
11
서로 분리된 제 1 및 제 2 기판이 제공되는 단계;상기 제 1 및 제 2 기판 상부에 제 1 및 제 2 금속선을 각각 형성하는 단계;상기 제 1 금속선이 피복되도록 상기 제 1 기판 상부에 귀금속 및 유리 미분말이 첨가된 제 1 페이스트를 도포하여 제 1 담체를 형성하는 단계; 및상기 제 2 금속선이 피복되도록 상기 제 2 기판 상부에 귀금속이 첨가되지 않고 유리 미분말이 첨가된 제 2 페이스트를 도포하여 제 2 담체를 형성하는 단계를 포함하는 센서 소자의 제조 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 금속선을 형성한 후 열처리하는 단계를 더 포함하는 센서 소자의 제조 방법
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13
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 담체를 형성한 후 열처리하는 단계를 더 포함하는 센서 소자의 제조 방법
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