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그 내부에 측정 대상용 사이리스터를 안치하고, 그 사이리스터와 외부기기와의 전기적인 접속을 위하여 외부로부터의 압착력을 가할 수 있도록 하기 위한 지그;상기 측정 대상의 사이리스터와 전기적으로 연결되며, 사이리스터의 정전용량을 측정하기 위한 LCR 미터;상기 LCR 미터와 사이리스터 사이에 설치되며, 사이리스터에 고전압을 바이어스하고 상기 LCR 미터에 전압이 역류하지 않도록 하는 바이어스 커플러;상기 바이어스 커플러와 전기적으로 연결되며, 바이어스 커플러에 의한 고전압 바이어스를 위한 고전압을 공급하는 고전압 공급장치;상기 지그에 설치되는 로드셀과 전기적으로 연결되며, 로드셀에 의해 측정된 하중에 상응하는 전기적 신호(아날로그 신호)를 디지털 데이터로 변환하기 위한 데이터 변환장치; 및상기 LCR 미터, 고전압 공급장치 및 데이터 변환장치와 각각 전기적으로 연결되며, 상기 로드셀을 통해 사이리스터에 인가되는 하중을 모니터링하고, 사이리스터에 바이어스하고자 하는 전압이 제대로 공급될 수 있도록 고전압 공급장치를 제어하며, 사이리스터의 정전용량을 정밀하게 측정할 수 있도록 LCR 미터를 제어하고, 각 기기로부터 측정된 데이터로부터 전압에 따른 정전용량, 인덕턴스를 출력하는 주제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 사이리스터의 정전용량 측정장치
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제1항에 있어서,상기 지그에는 상기 사이리스터에 인가되는 하중의 크기를 정밀하게 측정하기 위한 로드셀이 더 설치된 것을 특징으로 하는 사이리스터의 정전용량 측정장치
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제1항에 있어서,상기 데이터 변환장치와 상기 지그에 설치되는 로드셀 사이에는 로드셀로부터의 전기적 신호(아날로그 신호)를 디지털 데이터로 변환하기 용이하도록 신호를 조정하기 위한 신호 조정기가 더 설치된 것을 특징으로 하는 사이리스터의 정전용량 측정장치
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사이리스터와 외부기기와의 전기적 접속을 위한 압착력 인가를 위한 지그와, 사이리스터의 정전용량 측정을 위한 LCR 미터와, 사이리스터에의 고전압 바이어스를 위한 바이어스 커플러와, 고전압 바이어스를 위한 고전압을 공급하는 고전압 공급장치와, 로드셀로부터의 전기적 신호(아날로그 신호)를 디지털 데이터로 변환하는 데이터 변환장치 및 사이리스터에 인가되는 하중을 모니터링하고, 사이리스터에 바이어스하고자 하는 전압이 제대로 공급될 수 있도록 고전압 공급장치를 제어하며, 사이리스터의 정전용량을 정밀하게 측정할 수 있도록 LCR 미터를 제어하고, 각 기기로부터 측정된 데이터로부터 전압에 따른 정전용량, 인덕턴스를 출력하는 주제어부를 구비하는 사이리스터 의 정전용량 측정장치를 이용하여 사이리스터의 순,역방향 차단전압(절연내력)을 예측하기 위한 방법에 있어서,a) 상기 지그에 측정대상의 사이리스터 및 그 사이리스터에 인가되는 하중을 측정하기 위한 로드셀을 설치하고, 미리 설정된 하중을 상기 사이리스터에 인가하는 단계;b) 상기 바이어스 커플러에 의해 소정 크기의 순,역방향 바이어스 전압을 상기 사이리스터의 애노드-캐소드 간에 인가하면서 사이리스터의 접합부에 형성되는 순,역방향의 정전용량을 소정 주파수 범위에서 상기 LCR 미터에 의해 측정하는 단계; 및c) 상기 측정된 순,역방향의 정전용량을 바탕으로, 정전용량이 클수록 사이리스터의 접합부의 공핍층의 두께가 더 얇은 것을 의미하므로 이는 차단전압(절연내력)이 더 작은 것으로, 그리고 정전용량이 작을수록 사이리스터의 접합부의 공핍층의 두께가 더 두꺼운 것을 의미하므로 이는 차단전압(절연내력)이 더 큰 것으로 상기 사이리스터의 순,역방향 차단전압(절연내력)을 예측하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 사이리스터의 정전용량 측정장치를 이용한 사이리스터의 순,역방향 차단전압(절연내력) 예측방법
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제4항에 있어서,상기 단계 b)에서의 사이리스터에 인가되는 순,역방향 바이어스 전압은 0∼정격의 50% 이하의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 사이리스터의 정전용량 측정장치를 이용한 사이리스터의 순,역방향 차단전압(절연내력) 예측방법
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제4항에 있어서,상기 단계 b)에서의 정전용량의 측정은 0∼10kHz의 주파수 범위에서 측정하는 것을 특징으로 하는 사이리스터의 정전용량 측정장치를 이용한 사이리스터의 순,역방향 차단전압(절연내력) 예측방법
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