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유도결합 플라즈마의 내장형 안테나

  • 기술번호 : KST2014012476
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유도결합 플라즈마용 안테나에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 절연 재질의 관 내부에 안테나용 도체로 편복선을 삽입하여 구성하되, 상기 절연 재질의 관 내부에 편복선 주변으로 냉각을 위한 공기가 흐를 수 있게 하여 구성함으로써, 안테나의 축전결합, 즉 쉬스(sheath)에서의 축전 전기장에 의한 전압강하를 낮추게 되어 안테나 물질의 스퍼터링을 효과적으로 줄여줄 수 있는 효과를 제공하도록 된 유도결합 플라즈마의 내장형 안테나에 관한 것이다. 유도결합, 플라즈마, 안테나, 절연, 관, 편복선, 공기
Int. CL H05H 1/34 (2000.01)
CPC H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01)
출원번호/일자 1020040116221 (2004.12.30)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0726709-0000 (2007.06.04)
공개번호/일자 10-2006-0077379 (2006.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20070613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.30)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김지현 대한민국 경기 광명시
2 임근희 대한민국 경남 창원시
3 니키포로프,에스.에이. 러시아 경상남도 창원시 가음정

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0626767-35
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0036775-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0442348-74
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0706359-44
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0788967-94
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0876206-65
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0977064-69
9 의견서
Written Opinion
2006.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0977070-33
10 등록결정서
Decision to grant
2007.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0217229-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
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번호 청구항
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절연 재질의 관에 안테나용 도체로 편복선을 삽입하여 형성한 유도결합 플라즈마의 내장형 안테나에 있어서, 상기 절연 재질의 관 내부에 편복선 주변으로 냉각을 위한 압축공기가 흐르도록 하여, 상기 편복선으로 된 도체층, 상기 냉각용 공기로 된 공기층, 그리고 그 겉의 상기 절연 재질 관으로 된 절연층으로 구성되는 단면 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 유도결합 플라즈마의 내장형 안테나
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