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유중수소가스 검침용 반도체형 수소센서에 있어서, 소자구조가 형성되어 있는 기판(101);상기 기판(101) 상측에 촉매 금속과 접합하도록 하는 접합 향상용 금속층(102);상기 기판(101) 전면의 둘레를 따라 형성되는 히터; 상기 접합 향상용 금속층(102) 위에 수소분자를 수소원자로 해리시키도록 하는 촉매 금속층(103);상기 접합 향상용 금속층(102)과 상기 촉매 금속층(103) 사이와 양측에 수소 원자 농도에 비례하여 전도성 변화를 일으키는 반응성 산화막(104)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체형 수소 센서
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제 1항에 있어서, 상기 기판(101)의 양측 끝단부에는 히터 및 와이어 본딩용 금속층(105)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체형 수소센서
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제 2항에 있어서, 상기 히터 및 와이어 본딩용 금속층(105)의 금속은 금 또는 백금, Ti, NiCr, Cr로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 반도체형 수소센서
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제 1항에 있어서, 상기 접합 향상용 금속층(102)의 금속은 NiCr, Ti, Cr, Ni으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 반도체형 수소 센서
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제 1항에 있어서, 상기 촉매 금속층(103)의 촉매금속으로는 팔라듐, 백금, NiPd, CrPd, NiPt, CrPt 중에 선택되는 것을 특징으로 하는 반도체형 수소 센서
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제 1항에 있어서, 상기 반응성 산화막(104)에 형성된 반응성 산화물은 SnO2 혹은 InSnO2 , TiO2 , Ta2O5 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 반도체형 수소센서
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제 1항 또는 제 6항에 있어서, 상기 반응성 산화막(104)은 촉매 금속을 약간 덮거나 촉매금속 사이에만 증착되도록 형성된 것을 특징으로 하는 반도체형 수소 센서
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절연유 내의 수소가스 검출용 반도체 저항형 센서의 제조방법에 있어서, 기판(101)과 접합을 향상시키기 위한 접합 향상용 금속층(102)을 증착시키는 단계; 상기 접합 형상용 금속층(102) 위에 감도향상을 위하여 반응성 산화물과의 유효한 접촉면적을 향상시키고 수소분자를 수소원자로 해리시킬 수 있는 촉매 금속층(103)을 증착하는 단계;상기 촉매 금속층(103)을 상기 반응성 산화막(104)에 증착을 시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 절연유 내의 수소가스 검출용 반도체 저항형 센서의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 기판(101)의 양 끝단부에 히터 및 와이어 본딩 용 금속층(105)을 각각 증착시키는 단계를 부가하여 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 절연유 내의 수소가스 검출형 반도체 저항형 센서의 제조 방법
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