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코일과 영구자석 간에 발생하는 전자기력에 의해서 스테이지가 부상 및 이송되는 자기부상방식의 스테이지 장치에 있어서, 수평면을 형성하는 받침 플레이트(11)를 구비한 하부 이송대(10)와;상기 받침 플레이트(11)의 상면에 설치되어 전자계를 발생시키는 코일모듈 어레이(20)와;상기 하부 이송대(10)의 상측에서 부상 및 이송되는 스테이지(30)와;상기 스테이지(30)의 하면에 다수개의 영구자석(41,42)들이 배열 설치되어 이루어진 영구자석 어레이(40);를 포함하여 구성되고, 상기 코일모듈 어레이(20)가 받침 플레이트(11) 상면의 코일모듈(21) 다수개로 구성되되, 이웃 코일모듈(21) 간 코일 권선방향이 직각이 되도록 상기 코일모듈(21)들이 서로 직교하여 바둑판 형태로 배치되고, 컨트롤러(1) 및 구동회로부(2)에 의해 상기 각 코일모듈(21)의 온/오프 및 인가되는 전류가 제어되면서 상기 스테이지(30)가 코일모듈(21)과 영구자석(41,42) 간 발생된 전자기력에 의해 Z축 방향의 부상과 X축, Y축 방향의 2차원 수평 이동이 가능하도록 이루어지되, 상기 각 코일모듈(21)은 다수개의 공심형 단위 권선(22)들이 적층구조로 조합되어 구성되고, 상기 공심형 단위 권선(22)들이 A상, B상, C상의 순서로 번갈아 놓이도록 결선되는 것을 특징으로 하는 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치
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코일과 영구자석 간에 발생하는 전자기력에 의해서 스테이지가 부상 및 이송되는 자기부상방식의 스테이지 장치에 있어서, 수평면을 형성하는 받침 플레이트(11)를 구비한 하부 이송대(10)와;상기 받침 플레이트(11)의 상면에 설치되어 전자계를 발생시키는 코일모듈 어레이(20)와;상기 하부 이송대(10)의 상측에서 부상 및 이송되는 스테이지(30)와;상기 스테이지(30)의 하면에 다수개의 영구자석(41,42)들이 배열 설치되어 이루어진 영구자석 어레이(40);를 포함하여 구성되고, 상기 코일모듈 어레이(20)가 받침 플레이트(11) 상면의 코일모듈(21) 다수개로 구성되되, 이웃 코일모듈(21) 간 코일 권선방향이 직각이 되도록 상기 코일모듈(21)들이 서로 직교하여 바둑판 형태로 배치되고, 컨트롤러(1) 및 구동회로부(2)에 의해 상기 각 코일모듈(21)의 온/오프 및 인가되는 전류가 제어되면서 상기 스테이지(30)가 코일모듈(21)과 영구자석(41,42) 간 발생된 전자기력에 의해 Z축 방향의 부상과 X축, Y축 방향의 2차원 수평 이동이 가능하도록 이루어지되, 상기 영구자석 어레이(40)는 다수개의 N극과 S극의 영구자석(41,42)들이 등간격 설치되어 구성되며, 하나의 N극 또는 S극의 영구자석(41,42)을 중심으로 그 사방에 반대 극의 영구자석(41,42)이 배치되는 형태로 상기 N극과 S극의 영구자석(41,42)이 반복 설치되어서 서로 직교 형태의 배열을 이루는 것을 특징으로 하는 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치
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청구항 3에 있어서,상기 N극과 S극의 영구자석(41,42)이 정사각형의 영구자석인 것을 특징으로 하는 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치
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청구항 3에 있어서,상기 N극과 S극의 영구자석(41,42)이 원형의 영구자석인 것을 특징으로 하는 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치
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