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시험체의 시험 표면의 지형을 측정하기 위한 점회절 간섭계 장치에 있어서,레이저 광을 발생하는 레이저 광원;상기 레이저 광원의 광축상에 형성된 핀홀을 포함하고 상기 광원의 광축에 대해 소정의 경사각을 갖도록 배열되어, 상기 핀홀을 통과하는 상기 레이저 광원의 입사광으로부터 시험표면에 충돌하는 측정파인 제1 회절광을 생성하며, 상기 입사광의 일부를 반사하는 핀홀 거울;상기 입사광의 반사 경로상에 배치되며, 상기 핀홀 거울에 대해 병진 운동 가능하도록 압전 소자가 장착되며, 상기 핀홀 거울에서 반사된 레이저 광을 상기 핀홀로 집속하는 기준파인 제2 회절광을 생성하기 위한 시준기;상기 제1 회절광과 상기 제2 회절광의 간섭 경로상에 배치되며, 상기 제1 회절광과 상기 제2 회절광의 간섭에 의한 간섭 무늬 패턴을 검출하기 위한 검출기; 및상기 검출기의 출력을 측정하고 측정된 출력값에 따라 상기 압전 소자의 변형을 제어하는 간섭상 중심 측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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제1항에 있어서, 상기 시준기는 오목형 구면경을 포함하는 것을 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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제1항에 있어서, 상기 시준기는 시준 렌즈 및 평면경을 포함하는 것을 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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제1항에 있어서, 상기 시준기는 시준 렌즈, 집속 렌즈 및 평면경을 포함하는 것을 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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제1항에 있어서, 상기 검출기는 전하 결합 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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제1항에 있어서, 상기 압전 소자를 구동하기 위한 구동 드라이버를 더 포함하고, 상기 간섭상 중심 측정기는 상기 구동 드라이버의 인가 전압을 소정 범위에서 변화시키고 이에 따른 상기 검출기의 출력값의 변화로부터 최대 출력값을 구하고, 상기 최대 출력값에 대응하는 인가 전압으로 상기 압전 소자를 구동하는 것을 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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제1항에 있어서, 상기 핀홀 거울은 상기 광축에 대해 45˚ 경사각을 갖는 특징으로 하는 점회절 간섭계 장치
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