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장선 테이프 증착장치

  • 기술번호 : KST2014012565
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 장선의 초전도 테이프 상에 특정 물질을 증착하기 위한 장선 테이프 증착장치에 관한 것으로서, 상세하게는 진공챔버 내부에, 외주면을 따라 나선형의 가이드홈이 형성되며 상기 가이드홈을 따라 장선의 테이프가 감겨져 있는 드럼과, 상기 드럼의 일측에 이격되어 형성된 증착소스와, 상기 드럼 양축 측에 상기 테이프의 공급과 수거를 위해 형성된 공급릴과 수거릴이 위치되어, 드럼이 회전되면서 상기 증착소스로부터 상기 테이프 상측에 특정 물질을 증착시키는 동시에 상기 테이프의 공급과 수거가 이루어지는 장선 테이프 증착장치에 있어서, 상기 드럼의 길이방향으로 길게 형성되며, 상기 드럼 내측에서 원주면에 인접형성되어 외측으로 돌출되게 형성되고, 상기 테이프의 이송방향으로 회전되는 슬립롤러가 형성되어, 상기 테이프의 이동시 상기 가이드홈에서 테이프가 슬립되는 것을 특징으로 하는 장선 테이프 증착장치를 기술적 요지로 한다. 이에 따라 드럼의 길이방향으로 형성되고 외측으로 돌출되게 형성된 슬립롤러가 테이프의 회전방향과 동일한 방향으로 회전되도록 하여 테이프의 이동을 보조하여 상기 드럼의 외주면에서 슬립되도록 하여 테이프와 드럼과의 마찰이 최소화되어 테이프의 이동시 장력이 인가되지 않아 테이프가 손상되지 않도록 하면서, 지속적이고 원활한 테이프의 공급이 이루어지도록 하여 특정 물질이 증착된 장선의 테이프를 공급할 수 있으며, 테이프 상측에 증착된 특정 물질의 균질한 증착이 가능한 이점이 있다.장선 테이프 증착 드럼 장력 릴투릴 슬립
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/203 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060089525 (2006.09.15)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0750654-0000 (2007.08.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070820) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.09.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하홍수 대한민국 경남 창원시
2 오상수 대한민국 경상남도 창원시
3 하동우 대한민국 경상남도 창원시
4 송규정 대한민국 경상남도 창원시
5 고락길 대한민국 경남 김해시 장유면
6 김호섭 대한민국 경상남도 김해시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0667292-24
2 등록결정서
Decision to grant
2007.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0405032-85
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
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번호 청구항
1 1
진공챔버 내부에, 외주면을 따라 나선형의 가이드홈이 형성되며 상기 가이드홈을 따라 장선의 테이프가 감겨져 있는 드럼과, 상기 드럼의 일측에 이격되어 형성된 증착소스와, 상기 드럼 양축 측에 상기 테이프의 공급과 수거를 위해 형성된 공급릴과 수거릴이 위치되어, 드럼이 회전되면서 상기 증착소스로부터 상기 테이프 상측에 특정 물질을 증착시키는 동시에 상기 공급릴과 수거릴에 의한 테이프의 이송이 이루어지는 장선 테이프 증착장치에 있어서,상기 드럼의 길이방향으로 길게 형성되며, 상기 드럼 내측에서 원주면에 인접형성되어 외측으로 돌출되게 형성되고, 상기 테이프의 이송방향으로 회전되는 슬립롤러가 형성되어,상기 테이프의 이동시 상기 가이드홈에서 테이프가 슬립되는 것을 특징으로 하는 장선 테이프 증착장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 슬립롤러는,상기 드럼의 원주면을 따라 다수개가 형성되어, 서로 간에 회전체인과 연결되어 동시에 회전되는 것을 특징으로 하는 장선 테이프 증착장치
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 슬립롤러는,상기 드럼 내부에 형성된 지지체와 베어링결합되어 고정되는 것을 특징으로 하는 장선 테이프 증착장치
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