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저손실 박막 인덕터의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014012570
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 저손실 박막 인덕터의 제조방법은, 기판 위에 연자성층을 형성하는 단계; 연자성층 위에 절연층을 형성하는 단계; 절연층 위에 전기 도금을 위한 씨드층을 형성하되, 구리(1000Å)/크롬(200Å)의 2중막 구조로 형성하는 단계; 씨드층 위에 감광제층을 형성하고, 그 감광제를 이용하여 원하는 코일 형상의 패턴을 형성하는 단계; 형성된 코일 형상의 패턴에 전기 도금에 의해 코일 부분을 형성하되, 60 ㎃/㎠의 전류 밀도로 황산구리(CuSO4)를 전기 도금하여 100㎛ 두께로 형성하는 단계; 및 형성된 코일 부분 주변의 남아 있는 감광제를 제거한 후, 그 위에 미리 제조한 상부 자성막을 부착하여 인덕터를 완성하는 단계를 포함한다.이와 같은 본 발명에 의하면, 박막 인덕터의 코일의 두께를 종래의 것보다 대폭 증대시켜 저항을 크게 줄임으로써, 열발생 및 효율저하의 문제를 해결할 수 있고, 다양한 구조 설계를 가능하게 하는 장점이 있다. 또한, 습식 식각 공정만을 사용하므로 열응력 문제가 발생하지 않으며, 종래와 같이 상부 자성막을 코일 위에 증착시키는 방식이 아니라, 샌드위치 방식으로 상부 구조와 하부 구조를 접착시키는 방식을 사용하므로, 제조 공정이 용이하다는 장점이 있다. 컨버터, 박막 인덕터
Int. CL H01F 27/245 (2006.01)
CPC H01F 41/26(2013.01) H01F 41/26(2013.01) H01F 41/26(2013.01) H01F 41/26(2013.01)
출원번호/일자 1020010053990 (2001.09.04)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0440810-0000 (2004.07.08)
공개번호/일자 10-2003-0020603 (2003.03.10) 문서열기
공고번호/일자 (20040721) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.09.04)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송재성 대한민국 경상남도창원시
2 김인성 대한민국 경상남도창원시
3 김현식 대한민국 경상남도마산시합포구
4 김형준 대한민국 경기도안양시동안구
5 배석 대한민국 인천광역시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주종호 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2001-0225455-42
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2001-0116129-97
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2003-0033117-55
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0443485-85
6 의견서
Written Opinion		 2004.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2004-0000363-99
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0000364-34
8 등록결정서
Decision to grant		 2004.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0254556-85
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

(a) 기판 위에 연자성층을 형성하는 단계;

(b) 상기 연자성층 위에 절연층을 형성하는 단계;

(c) 상기 절연층 위에 전기 도금을 위한 씨드층을 형성하되, 구리(1000Å)/크롬(200Å)의 2중막 구조로 형성하는 단계;

(d) 상기 씨드층 위에 감광제층을 형성하고, 그 감광제를 이용하여 원하는 코일 형상의 패턴을 형성하는 단계;

(e) 상기 형성된 코일 형상의 패턴에 전기 도금에 의해 코일 부분을 형성하되, 60 ㎃/㎠의 전류 밀도로 황산구리(CuSO4)를 전기 도금하여 100㎛ 두께로 형성하는 단계; 및

(f) 상기 형성된 코일 부분 주변의 남아 있는 감광제를 제거한 후, 그 위에 미리 제조한 상부 자성막을 부착하여 인덕터를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저손실 박막 인덕터의 제조방법

2 2

제 1항에 있어서,

상기 단계 (a)에서의 연자성층은 FeTaN/Ti의 2중막 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 저손실 박막 인덕터의 제조방법

3 3

삭제
4 4

제 1항에 있어서,

상기 단계 (d)에서의 감광제층은 120㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 저손실 박막 인덕터의 제조방법

5 5

삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.