| 요약 |
본 발명의 제1 실시예에 따른 적층형 세라믹 액츄에이터의 내부 전극 구조체는, 세라믹 테이프 표면에 형성되는 사각형 형태의 단위 전극 구조체를 다수의 층으로 적층하여 형성된 적층형 세라믹 액츄에이터의 내부 전극 구조체에 있어서, 상기 사각형 형태의 단위 전극 구조체의 네 변중 어느 일측 변의 대략 중심부에는 비활성부가 마련되고, 그 비활성부 내에는 적층형 세라믹 액츄에이터의 구동시 전극이 존재하는 부분과 존재하지 않는 부분의 경계에서 크랙이 발생하여 전파되는 것을 방지하기 위하여 전기적, 기계적 파괴를 억제하기 위한 응력 완충전극부가 형성되어 있는 점에 그 특징이 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 기존의 세라믹 액츄에이터 내부 전극 구조를 변형함으로써, 비활성부의 면적을 줄일 수 있어 변위 특성의 저하가 없고, 외부 전극의 절연을 위해서 필요한 유리질층을 형성하는 공정을 줄일 수 있어 생산성도 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 변형된 내부 전극 구조체에 의해 형성되는 H빔 구조는 세라믹 액츄에이터의 기계적 강도를 증대시킬 수 있다. 세라믹, 액츄에이터, 전극
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