| 1 |
1
고진공 상태에서 측정 샘플의 물리적 특성을 측정하기 위한 시스템에 있어서,
진공 챔버;
상기 진공 챔버 내에 형성되는 그리드 전극;
상기 진공 챔버의 일면을 관통하도록 형성된 피드스루를 통하여 상기 그리드 전극에 전압을 인가하기 위한 고전압 전원;
상기 진공 챔버를 배기시키기 위한 터보 펌프;
상기 측정 샘플이 장착되고 상기 진공 챔버 내에 삽입된 상태에서 상기 측정 샘플의 물리적 특성을 측정하기 위한 음극부로서의 샘플 프루브; 및
액체 냉매가 상기 샘플 프루브를 관통하도록 공급되기 위한 액체 냉매 순환로를 포함하여 이루어지고,
상기 샘플 프루브는, 상기 측정 샘플을 장착한 상태에서 상기 진공 챔버의 진공도에 영향을 주지 않으면서 상기 진공챔버로부터 탈착가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,
상기 측정 샘플이 전계 방출 소자이고, 상기 물리적 특성은 전계 방출 특성, 전기전도도, 전압, 전류, 온도, 압력 특성 및 극저온 상태에서의 초전도 특성 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,
상기 샘플 프루브에 장착되는 상기 측정 샘플은 실버 페인트를 이용하여 오믹 콘택트를 형성하는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,
상기 샘플 프루브는 샘플 프루브 가이드라인을 관통하도록 형성되어 상기 진공 챔버로 또는 상기 진공 챔버로부터 장착 또는 탈착이 가능한 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,
상기 샘플 프루브 가이드라인에는 2개의 오링 및 상기 2개의 오링 사이에 형성된 밸브 시스템을 포함하고, 상기 샘플 프루브의 상기 측정 샘플이 장착된 일단이 2개의 오링 중 상기 진공 챔버에 가까운 오링과 상기 밸브 시스템을 통과한 이후에 상기 밸브 시스템을 잠금으로써, 상기 샘플 프루브가 상기 진공 챔버로부터 탈착될 때 상기 진공 챔버의 진공도가 유지되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,
상기 샘플 프루브의 일단에는 볼트를 개재하여 상기 측정 샘플이 고정되거나 상기 샘플 프루브의 상단 표면에 실버 페인트를 이용하여 상기 측정 샘플이 장착되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서,
상기 진공 챔버는 상기 터보 펌프와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,
상기 측정 샘플이 전계 방출 소자이고, 상기 그리드 전극과 상기 샘플 프루브에 장착된 상기 전계 방출 소자 사이에 형성되는 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,
상기 그리드 전극은 금속 메쉬 또는 고체 형태의 금속 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 11 |
11
제 9 항에 있어서,
상기 그리드 전극은 투명 전극으로 형성되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서,
상기 그리드 전극에 상기 샘플 프루브에 장착된 전계 방출 소자로부터 발생되는 전자빔을 가시화하기 위한 형광 물질이 코팅되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 13 |
13
제 1 항에 있어서,
상기 시스템은 상기 진공 챔버의 일면에 장착된 CCD 카메라 및 이를 제어하기 위한 CCD 콘트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 14 |
14
제 13 항에 있어서,
상기 측정 샘플의 물리적 특성에 관한 데이터를 실시간으로 획득, 디스플레이 및 저장시킬 수 있도록 자동 데이터 획득(DAQ) 프로그램이 탑재된 이미징 및 프로세싱 시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템
|
| 15 |
15
제 1 항에 있어서,
상기 진공 챔버 외벽에 열선이 설치되거나 액체 냉매 순환로가 설치되는 것을 특징으로 하는 시스템
|
