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상기 반응챔버(10)의 내부에 구비되며 증착하고자 하는 금속물질을 증발시키는 증발장치(40)와, 상기 증발장치를 상기 기판(70)의 표면에 대하여 수평방향으로 이동시키는 이동수단을 포함하고, 상기 이동수단은 상기 증발장치(40)에 일체로 구비되는 이송블럭(51)과, 상기 이송블럭에 체결되는 나선축(52)과, 상기 나선축을 정/역방향으로 회전시키는 서보모터(53)와, 상기 증발장치에 장착되어 그 직선운동을 가이드하는 가이드부재를 포함하는 박막증착장치에 있어서, 상기 이동수단은, 상기 반응챔버(10)의 외측에 구비되며 제1자성체(550)가 형성된 구동블럭(55)과, 상기 구동블럭에 장착되어 직선왕복운동을 구현하는 작동부재와, 상기 증발장치(40)에 일체로 구비되며 상기 제1자성체와 대응되는 제2자성체(510)가 형성된 이송블럭(51)과, 상기 증발장치에 장착되어 그 직선운동을 가이드하는 가이드부재(54)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제3항에 있어서, 상기 작동부재는, 상기 반응챔버(10)의 외부에 구비되며 상기 구동블럭(55)에 체결되는 나선축(52)과, 상기 나선축을 정/역방향으로 회전시키는 서보모터(53)와, 상기 구동블럭의 직선운동을 가이드하는 가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제3항에 있어서, 상기 증발장치(40)는,상기 반응챔버(10)의 내부에 설치되는 밀폐형 하우징(41A)과, 상기 하우징의 내부에 금속물질을 투입하는 시료투입구(42A)와, 상기 하우징의 내부에 구비되어 투입된 금속물질을 증발시키는 가열수단과, 상기 하우징 내부의 증발된 금속물질을 상기 기판측으로 분사하는 분사구(44A)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제6항에 있어서, 상기 하우징(41A)의 내부로 불활성 가스를 주입하는 가스주입구(43A)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제6항에 있어서, 상기 분사구(44A)는 기판(70)의 폭와 대응되는 길이의 장공으로 형성된 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제3항에 있어서, 상기 증발장치(40)는, 상기 반응챔버(10)의 내부에 설치되고, 그 내부가 분리판(46)에 의해 제1구역(47a) 및 제2구역(47b)으로 분할되며, 상기 분리판에는 상기 제1구역 및 제2구역을 연결하는 통기공이 형성된 밀폐형 하우징(41B)과; 상기 제1구역에 금속물질을 투입하는 시료투입구(42B)와; 상기 제1구역의 내부에 구비되어 상기 금속물질을 가열시켜 증발시키는 가열수단(48a)과; 상기 통기공을 통해 상기 제2구역으로 전달되는 증발된 금속물질을 상기 기판측으로 분사하는 분사구(44B)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제9항에 있어서, 상기 제1구역(47a)의 내부로 불활성 가스를 주입하는 가스주입구(43B)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제9항에 있어서, 상기 분사구(44B)는 기판(70)의 폭과 대응되는 길이의 장공으로 형성된 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제9항에 있어서, 상기 제2구역(47b)의 내부에 구비되어 상기 통기공을 통해 유입된 불활성 가스 및 증발된 금속물질을 2차로 가열하는 재가열수단(48b)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제12항에 있어서, 상기 가열수단(48a) 및 재가열수단(48b)의 온도를 각각 제어하는 온도제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제12항에 있어서, 상기 가열수단(48a) 및 재가열수단(48b)의 온도를 각각 제어하는 온도제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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