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박막 테이프 제조장치

  • 기술번호 : KST2014012623
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 복제공정을 이용하여 에피택시 성장된 초전도 선재용 테이프를 제조하기 위한 제조장치에 관한 것으로, 루프 형상의 기본모재로부터 길이가 긴 테이프 형상의 초전도 선재를 제조하는 것이 가능하다. 본 발명에 따른 박막 테이프 제조장치는 원형 지지체의 상부면에 부착되어 양끝이 연결된 단결정의 기본모재를 회전시키기 위한 회전 구동부와, 기본모재의 상부면에 용매에 용해 가능한 분리층을 증착하기 위한 분리층 증착챔버와, 분리층의 상부에 박막을 증착하기 위한 증착챔버와, 기본모재의 상부면에 증착된 박막을 기본모재로부터 분리하여 박막 테이프를 만들기 위한 분리챔버와, 챔버들 사이에 구비된 적어도 하나의 버퍼챔버들로 구성되며, 상기 챔버들은 원형으로 배치되고, 상기 챔버들과 상기 버퍼챔버에는 기본모재가 통과할 수 있는 인입구와 배출구를 구비한다. 초전도체, 선재, 복제, 단결정, 용해, 분리
Int. CL H01B 13/00 (2006.01) H01B 12/00 (2006.01)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020040043060 (2004.06.11)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자 10-0669489-0000 (2007.01.09)
공개번호/일자 10-2005-0117822 (2005.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20070116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.06.11)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박찬 대한민국 경상남도 창원시 가음정
2 염도준 대한민국 대전광역시 유성구
3 김호섭 대한민국 경상남도 김해시
4 정국채 대한민국 대전광역시 서구
5 이병수 대한민국 전라남도 여수시
6 임선미 대한민국 대전광역시 유성구
7 김형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2004-0253177-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0069528-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0640211-83
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0107219-22
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0182166-93
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2006-0261511-28
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0337910-47
9 의견서
Written Opinion		 2006.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0420246-64
10 등록결정서
Decision to grant		 2006.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0588309-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220117-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.08 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207456-63
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
루프형으로 연결된 기본모재를 회전시키기 위한 회전 구동부와, 상기 기본모재의 상부면에 분리층을 증착하기 위한 분리층 증착챔버와; 상기 분리층의 상부에 박막을 증착하기 위한 적어도 하나의 박막 증착챔버와, 상기 기본모재의 상부면에 증착된 박막을 기본모재로부터 분리하여 박막 테이프를 만들기 위한 분리챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 증착챔버 및 분리챔버에는 상기 루프형으로 연결된 기본모재가 통과하여 챔버의 내부로 인입되는 인입구와 상기 기본모재를 챔버의 외부로 배출하기 위한 배출구를 구비한 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 증착챔버들 및 상기 분리챔버로 구성된 챔버들의 사이에는 적어도 하나의 버퍼챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 버퍼챔버는 인접한 챔버 내부의 압력과는 다르게 독립적으로 압력을 조절할 수 있도록 가스주입구 및 진공장치를 구비한 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 분리챔버는 물을 저장하는 수조를 포함하고, 상기 수조의 물을 증발시켜 수증기를 생성하기 위한 증발장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 증발장치에는 히터가 구비되어, 히터의 온도를 조절함에 따라 발생되는 수증기의 압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 분리챔버에서 기본모재로부터 분리된 박막 테이프를 감아 보관하기 위한 권취롤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 권취롤을 포함하는 챔버와 분리챔버의 사이에 적어도 하나의 박막 증착챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 분리층은 용매에 용해 가능한 물질인 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
10 10
제1항에 있어서, 상기 기본모재는 단결정 또는 배향된 표면을 갖는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
11 11
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 회전 구동부는 상기 증착챔버, 상기 버퍼챔버 또는 상기 분리챔버의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
12 12
양끝이 연결된 기본모재를 지지하기 위한 원형 지지체와; 상기 원형 지지체의 상부면에 부착된 기본모재를 회전시키기 위한 회전 구동부와; 상기 기본모재의 상부면에 용매에 용해 가능한 분리층을 증착하기 위한 분리층 증착챔버와; 상기 분리층의 상부에 박막을 증착하기 위한 적어도 하나의 박막 증착챔버와; 상기 기본모재의 상부면에 증착된 박막을 기본모재로부터 분리하여 박막 테이프를 만들기 위한 분리챔버와; 상기 챔버들 사이에 구비된 적어도 하나의 버퍼챔버를 포함하고, 상기 챔버들과 상기 버퍼챔버는 원형으로 배치되며, 상기 챔버들과 상기 버퍼챔버에는 기본모재가 통과할 수 있는 인입구와 배출구를 구비한 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
13 13
제12항에 있어서, 상기 박막 증착챔버는 금속 산화물층을 증착하기 위한 산화물 증착챔버와, 상기 금속 산화물층을 지지하기 위한 지지층을 증착하는 지지층 증착챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
14 14
제12항에 있어서, 상기 분리챔버에서 기본모재로부터 분리된 박막 테이프를 감아 보관하기 위한 권취롤을 구비한 권취챔버와 분리챔버의 사이에 적어도 하나의 박막 증착챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
15 14
제12항에 있어서, 상기 분리챔버에서 기본모재로부터 분리된 박막 테이프를 감아 보관하기 위한 권취롤을 구비한 권취챔버와 분리챔버의 사이에 적어도 하나의 박막 증착챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 테이프 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.