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전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로에 있어서,전원의 일단에 제1 인덕터(Ls)의 일단이 연결되고, 상기 제1 인덕터(Ls)의 타단에 제1 커패시터(Cs)의 일단이 직렬로 연결되고, 상기 제1 커패시터(Cs)의 타단에 제2 인덕터(Lp)의 일단과 제2 커패시터(Cp)의 일단이 병렬로 연결되고, 상기 제2 인덕터(Lp)와 제2 커패시터(Cp)의 타단이 상기 전원의 타단에 연결되며, 상기 제2 인덕터(Lp)와 제2 커패시터(Cp)의 양단에 부하(RL)가 연결되는 것을 특징으로 하는 전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로
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청구항 1에 있어서,상기 제1 인덕터(Ls)와 제1 커패시터(Cs)에 의한 직렬 공진 주파수(fser)는 상기 제2 인덕터(Lp)와 제2 커패시터(Cp)에 의한 병렬 공진 주파수(fpar)와 동일하거나 미세하게 낮은 것을 특징으로 하는 전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로
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청구항 2에 있어서,상기 직렬 공진 주파수(fser)와 병렬 공진 주파수(fpar)가 동일할 때, 입력 임피던스(Zin)는 공진 주파수(Wr) 근처에서 상기 부하(RL)의 저항이 증가할수록 증가하는 것을 특징으로 하는 전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로
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청구항 2에 있어서,상기 직렬 공진 주파수(fser)와 병렬 공진 주파수(fpar)가 동일할 때, 상기 부하(RL)의 저항에 무관하게 전압 이득이 일정한 주파수 영역이 존재하는 것을 특징으로 하는 전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로
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청구항 2에 있어서,상기 제1 인덕터(Ls), 제1 커패시터(Cs), 제2 인덕터(Lp) 및 제2 커패시터(Cp)는 조정회로에 의해 부하에 따라 다시 미세 튜닝되어, 상기 부하 저항이 가변되더라도 입력 임피던스를 최대로 하고 전압 이득을 일정하게 하는 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로
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청구항 1에 있어서,상기 제2 인덕터(Lp)와 제2 커패시터(Cp)에 의한 병렬 공진 주파수(fpar)는 부하를 단락시킬 때의 상기 제1 인덕터(Ls)와 제1 커패시터(Cs)에 의한 직렬 공진 주파수(fser)와 같거나 더 큰 것을 특징으로 하는 전압이득이 일정한 ＲＦ 전원 필터 회로
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