| 1 |
1
음극으로부터 방출된 전자가 양극에 충돌하여 방사선을 방출하는 방사선관에 있어서, 상기 음극으로부터 방출된 전자가 양극에 충돌하여 방사선을 방출하도록 하는 진공의 공간을 제공하는 하우징;상기 하우징의 내부 일측에 설치되며, 외부로부터 인가된 전압에 의해 전계를 형성하여 음극으로부터 방출된 전자를 가속하여 자신에게 도달하도록 하는 양극;상기 양극에 대응하는 음극으로서 양극으로부터 일정 거리 이격된 위치의 상기 하우징 내부에 설치되며, 그 표면에는 전압인가에 의해 전자를 방출하는 탄소나노튜브가 성장되어 있는 탄소나노튜브 기판; 상기 탄소나노튜브 기판을 지지 및 고정하며, 탄소나노튜브 기판에 전압을 인가하기 위한 음극판;상기 탄소나노튜브 기판에 이상이 있을 때, 탄소나노튜브 기판만을 교체할 수 있도록 탄소나노튜브 기판과 결합되어 하나의 일체화된 세트를 이루며, 상기 하우징에 착탈 가능하게 설치되는 샘플 프루브(sample probe);상기 탄소나노튜브 기판의 전방에 설치되며, 탄소나노튜브 기판으로부터 전자를 원활하게 추출하기 위한 그리드(grid) 전극;상기 그리드 전극의 전방에 설치되며, 그리드 전극을 통과한 전자를 집속하여 상기 양극에 마이크로 수준의 초점이 형성될 수 있도록 하는 전자집속 렌즈;상기 샘플 프루브의 주변에 복수 개가 설치되며, 상기 음극, 그리드 전극 및 전자집속 렌즈에 전압을 인가하기 위한 피드 스루(feed through); 상기 하우징의 일측에 착탈 가능하도록 설치되며, 상기 탄소나노튜브 기판의 교체 시, 상기 하우징 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 진공 펌프; 및상기 샘플 프루브를 상기 하우징에 삽입 및 하우징으로부터 분리시 하우징의 내부와 외부를 차단시켜주기 위한 진공 밸브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 집속 수준의 전자빔 발생용 탄소나노튜브 기판 분리형 방사선관 시스템
|
