요약 | 본 발명에 따른 마그네트론 냉각 장치는 통형구조를 갖는 양극과 그 내부에 돌출된 복수의 양극 베인이 구비되고, 양극 또는 양극 베인 내부에는 냉각수로가 형성되되, 이 냉각수로는 양극의 외면으로부터 내측 방향으로 직선으로 이루어진 복수의 수로가 한 점에서 만나는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 본 발명에 따른 마그네트론의 냉각장치를 제공하게 되면, 종래의 냉각수로를 연결하는 베인 구멍과 베인 구멍을 막는 베인 핀을 따로 제작할 필요가 없어 부품수가 줄어들어 제작단가가 낮아지고, 직선형의 냉각수로를 한 지점에서 만날 수 있도록 함으로써, 연결구멍이 형성되어 제작이 간단해지게 된다. 또한 직선형의 냉각수로를 다수 형성하여 한 지점에서 만날 수 있게 하여 연결되게 하면, 양극 및 양극 베인에 접하는 단면적이 많아져 냉각 효율이 증가하게 된다. 마그네트론, 양극, 음극, 양극 베인, 베인 구멍, 베인 핀, 냉각수로, 냉각수통, 냉각수관 |
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Int. CL | H01J 23/12 (2006.01) H01J 23/033 (2006.01) |
CPC | H01J 23/005(2013.01) H01J 23/005(2013.01) H01J 23/005(2013.01) H01J 23/005(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020060067925 (2006.07.20) |
출원인 | 한국전기연구원 |
등록번호/일자 | 10-0765948-0000 (2007.10.04) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20071012) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.07.20) |
심사청구항수 | 4 |