요약 | 본 발명은 마그네트론 발진기의 결합구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 음극 급전 단자에 초고진공(UHV)을 구현하는 콘플랫(conflat) 플랜지를 적용하되, 마그네트론 발진기의 본체부와, 음극 급전 단자 및 음극이 포함된 작동부를 상기 콘플랫 플랜지를 통해 결합하고, 이를 무산소동 가스켓을 통해 밀봉 처리하는 동시에 볼트로 견고하게 체결할 수 있는 결합 구조로 구성함으로써, 수명이 다하거나 고장이 난 경우, 본체부에 대한 작동부의 교체 작업이 간단하면서도 용이하여 궁극적으로 작동부 교체 시간 및 비용을 크게 절감할 수 있는 마그네트론 발진기의 결합구조에 관한 것이다. 마그네트론 발진기, 콘플랫 플랜지, 음극 가이드부, 무산소동 가스켓 |
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Int. CL | H01J 23/12 (2006.01) H01J 23/14 (2006.01) |
CPC | H01J 23/14(2013.01) H01J 23/14(2013.01) H01J 23/14(2013.01) H01J 23/14(2013.01) H01J 23/14(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020050095627 (2005.10.11) |
출원인 | 한국전기연구원 |
등록번호/일자 | 10-0668115-0000 (2007.01.05) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20070116) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2005.10.11) |
심사청구항수 | 2 |