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레이저와, 상기 레이저의 레이저 빔 경로와 초점을 조절하는 미러, 렌즈 등의 광학기구와, 내부에 기판과 대향되는 위치에 타겟이 형성되고 일측에 레이저 빔이 통과하는 레이저윈도우가 형성된 진공챔버를 포함하여 구성되어, 레이저 빔이 상기 광학기구를 통과하여 레이저윈도우를 통해 타겟에 조사되면, 상기 타겟으로부터 타겟 원자기체로 이루어진 플룸(plume)이 형성되면서 상기 기판에 박막이 증착되는 레이저 증착 장치에 있어서,상기 플룸과 상기 레이저윈도우 사이에 플룸스크린부가 형성되되,상기 플룸스크린부는,레이저윈도우 포트에 형성되어 상기 진공챔버와 연통되게 형성되며, 레이저 빔 방향에 평행하게 형성되어 레이저 빔이 통과하는 몸체와;상기 몸체의 레이저 빔이 입사되는 측의 선단에 형성되고, 레이저 빔이 관통되는 레이저윈도우와;상기 레이저윈도우 내측의 상기 몸체 내부에 형성되어 증착과정동안 발생되는 타겟의 원자기체를 차폐하여 레이저윈도우의 오염을 방지시키는 스크린;을 포함하여 구성되어, 레이저윈도우의 오염 방지 및 증착 레이저 에너지를 유지시키는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제 1항에 있어서, 상기 스크린은,레이저 빔이 입사되는 면은 반사방지코팅(AR-coating)이 되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제 1항에 있어서, 상기 몸체는,레이저 빔이 통과되는 빔가이드로와, 상기 빔가이드로와 연통되며 상기 스크린이 수용되는 스크린수용로가 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제 4항에 있어서, 상기 스크린수용로는,상기 몸체 좌우측 또는 좌우상하측으로 다수개가 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제 5항에 있어서, 상기 스크린은,상기 스크린수용로의 갯수에 대응되게 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제 6항에 있어서, 상기 스크린은,상기 빔가이드로와 상기 스크린수용로 내외부로 왕복운동되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제 7항에 있어서, 상기 스크린은,증착과정동안에는 하나의 스크린이 상기 몸체의 빔가이드로 내부의 상기 레이저윈도우와 동일한 축상에 위치되어 상기 레이저윈도우가 오염되는 것을 방지하고, 나머지는 상기 스크린수용로 내부에 위치되어 상기 스크린이 오염되면 나머지 스크린 중에 하나가 상기 빔가이드로에 위치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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제1항, 제 3항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 몸체는 몸체연결구에 의해 다수개가 연결되는 것을 특징으로 하는 레이저윈도우 오염 방지를 위한 레이저 증착 장치
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