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규소톱밥 슬러지를 이용한 규소의 분리방법

  • 기술번호 : KST2014013306
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 규소 잉곳을 웨이퍼로 절단하는 공정에서 발생하는 규소톱밥 슬러지로부터 규소만을 분리ㆍ회수하여 반도체산업 부품 및 태양전지용 규소 원료인 99.5% 이상의 고순도 규소를 제공하기 위한 규소톱밥 슬러지를 이용한 고순도 규소 분리방법에 관하여, 고형분만을 분리해내는 희석침전단계(S1)와, 그 고형분을 세척하는 사전세척단계(S2)와, 그 고형분의 규소와 탄화규소를 분리하여 규소를 획득하는 중액분리단계(S3)와, 그 규소를 세척하는 사후세척단계(S4)와, 그 세척된 규소에 잔류하는 철분 등을 제거하는 산세처리단계(S5)와, 유기용매 및 중액을 제거하는 진공건조단계(S6)로 구성됨을 특징으로 그 대략적인 구성을 가진다.이러한 구성으로 절삭유와 탄화규소 및 규소, 철분 등이 혼재된 규소톱밥 슬러지로부터 절삭유를 제거하고, 탄화규소와 규소 및 철분 등으로 혼합된 고형분을 고비용의 화학적 반응을 사용하지 않고 규소만을 분리ㆍ획득하여 반도체 산업부품 및 태양전지용 규소 원료로 사용할 수 있는 순도 99.5% 이상의 규소를 저비용으로 재활용할 수 있는 효과가 있다.규소, 규소 슬러지, 규소 톱밥, 규소 재생, 탄화규소
Int. CL C01B 33/037 (2006.01.01) B03B 5/32 (2006.01.01) B03B 5/44 (2006.01.01)
CPC C01B 33/037(2013.01) C01B 33/037(2013.01) C01B 33/037(2013.01)
출원번호/일자 1020070081658 (2007.08.14)
출원인 다이섹(주), 인천대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0888880-0000 (2009.03.09)
공개번호/일자 10-2009-0017138 (2009.02.18) 문서열기
공고번호/일자 (20090317) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.14)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 다이섹(주) 대한민국 경북 구미시
2 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김강우 대한민국 서울 관악구
2 김영관 대한민국 경기 용인시 수지구
3 김선진 대한민국 인천 남동구
4 신원식 대한민국 인천 계양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박해봉 대한민국 대구광역시 수성구 동대구로 ***, *층(범어동, 태윤빌딩)(법무법인창공분사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구
2 다이섹(주) 대한민국 경북 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0587604-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2007-5129205-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.04.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2008-0026324-18
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0814085-64
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0595358-43
7 등록결정서
Decision to grant		 2009.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0098889-30
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.01.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5005498-98
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-0007374-92
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.10.14 수리 (Accepted) 4-1-2014-0091252-23
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075573-17
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.14 수리 (Accepted) 4-1-2019-5212872-93
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번호 청구항
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규소톱밥 슬러지를 이용한 고순도 규소 분리방법에 있어서,규소톱밥 슬러지에 유기용매를 첨가하여 희석·침전시키고, 그 고형분의 상부에 형성된 액을 제거하는 희석침전단계(S1)와;상기 희석침전단계(S1)를 거친 고형분에 유기용매를 첨가하고, 초음파세척기와 초음파분쇄기를 통해 세척하고, 원심분리기를 통해 고형분과 유기용매를 원심분리하는 사전세척단계(S2)와;상기 사전세척단계(S2)를 거친 고형분에 할로겐유기물로서 다이브로민화메테인(CH2Br2), 브로모폼(CHBr3), 테트라브로모에테인(Br2CHCHBr2), 사브로민화탄소(CBr4) 중 어느 한가지 이상으로 구성된 중액을 첨가하고, 초음파분쇄기를 통해 초음파분쇄를 하고, 원심분리기를 통해 고형분의 규소와 탄화규소 및 중액을 분리하여 규소를 획득하는 중액분리단계(S3)와;상기 중액분리단계(S3)를 거친 고형분의 규소에 유기용매를 첨가하고, 초음파세척기를 통해 초음파세척하고, 원심분리기를 통해 원심분리하는 사후세척단계(S4)와;상기 사후세척단계(S4)를 거친 고형분의 규소에 산으로 침식시키는 산세처리단계(S5)와;상기 산세처리단계(S5)를 거친 고형분 규소를 건조시키는 진공건조단계(S6)로 구성됨을 특징으로 하는 규소톱밥 슬러지를 이용한 고순도 규소 분리방법
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