| 요약 |
본 발명은 이중 및 삼중 사극전자석의 구성 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이온빔 집속장치에 사용되는 이중 사극전자석을 구성함에 있어서, 각각 네 개의 자극으로 구성되는 두 개의 사극전자석을 일렬로 배치하되, 서로 인접한 네 쌍의 자극들을 요크를 통해 각각 연결한 후, 상기 요크의 둘레에 여러 겹의 코일을 감아 전자석을 형성하여 두 개의 자극이 하나의 요크와 하나의 코일을 공유하는 형태가 되도록 이중 사극전자석을 구성함으로써, 전체적인 구조를 단순화하는 동시에 부피도 줄이는 한편, 사용되는 코일의 크기를 줄여줌으로써 전자석에서 사용되는 전력의 소모를 감소시킬 수 있는 이중 사극전자석에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은, 이온빔이 통과하는 빔수송관을 중심으로 상기 빔수송관을 둘러싸고 각각 90°간격으로 형성되는 네 개의 자극으로 이루어지며, 빔수송관의 길이 방향을 따라 서로 인접하여 배열되는 제1 및 제2 사극전자석과, 상기 제1 사극전자석과 제2 사극전자석의 서로 인접한 네 쌍의 자극들을 각각 연결하는 요크와, 상기 요크의 둘레에 여러 겹으로 감기는 코일을 포함하여 구성되어, 서로 인접하여 하나의 요크를 통해 연결된 두 개의 자극이 사이에 연결된 하나의 요크와 하나의 코일을 공유하도록 구성되는 것을 특징으로 한다. 이온빔, 사극전자석, 자극, 집속, 솔레노이드, 자력선
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