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단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체; 및
레이저빔을 발생시켜 상기 매개체에 상기 레이저빔을 조사하여 이온 에너지를 발생시키는 레이저빔 발생기;
를 포함하며, 상기 레이저빔의 조사 위치를 변화시켜 상기 레이저빔이 반응하는 반응두께를 달리하여 상기 발생되는 이온 에너지를 변화시키는 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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2
제 1 항에 있어서,
내부에 진공을 형성하는 진공 밀폐 용기; 및
상기 매개체를 공급하는 매개체공급기;
를 더 포함하고,
상기 레이저빔 발생기, 상기 매개체, 및 상기 매개체공급기는 상기 진공 밀폐용기 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 매개체의 단면 형상은 삼각형, 마름모 또는 사다리꼴 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 매개체는 단면의 형상이 삼각형인 초극세사인 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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5
제 4 항에 있어서,
상기 레이저빔 발생기는 상기 초극세사의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔이 조사되도록 배치된 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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| 6 |
6
제 4 항에 있어서,
상기 초극세사의 단면인 삼각형의 장축 길이는 5 마이크론(um) 내지 15 마이크론 사이인 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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| 7 |
7
제 6 항에 있어서,
상기 초극세사의 단면인 삼각형의 두께는 10 마이크론 이하인 것을 특징으로 하는 이온발생장치
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8
내부에 진공을 형성하는 진공 밀폐 용기를 제공하는 단계;
단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체, 레이저빔 발생기, 및 상기 매개체를 공급하는 매개체공급기를 상기 진공 밀폐 용기 내에 배치시키는 단계;
상기 진공 밀폐 용기 내부에 진공을 형성하는 단계; 및
상기 매개체로 레이저빔을 조사하여 이온 에너지를 발생시키는 단계;
를 포함하고, 상기 레이저빔의 조사 위치를 변화시켜 상기 레이저빔이 반응하는 반응두께를 달리하여 상기 발생되는 이온 에너지를 변화시키는 것을 특징으로 하는 이온발생방법
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9
제 8 항에 있어서,
상기 매개체의 단면 형상은 삼각형, 마름모 또는 사다리꼴 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이온발생방법
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10
제 8 항에 있어서,
상기 매개체는 단면의 형상이 삼각형인 초극세사이며, 상기 레이저빔 발생기는 상기 초극세사의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔이 조사되도록 배치된 것을 특징으로 하는 이온발생방법
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11
제 10 항에 있어서,
상기 초극세사 단면인 삼각형의 장축 길이가 5 마이크론 내지 15마이크론 사이이고, 두께가 10 마이크론 이하인 것을 특징으로 하는 이온발생방법
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