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펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 장치 및 조절 방법

  • 기술번호 : KST2014013471
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 장치 및 조절 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 교류 전자석을 이용하여 대상 시료에 이온 또는 전자 등의 하전입자 빔을 조사하는데 있어서, 단위 시간당 발생하는 펄스 빔의 갯수를 교류 전자석의 정현파 형태의 전류 주기에 따라 변조하여 조사함으로써 대상 시료에 조사되는 빔이 모든 위치에서 균일하게 조사되도록 구성한 펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은, 하전입자의 펄스 빔을 발생시키는 빔 발생부, 수평 방향으로 서로 대향하는 한 쌍의 자극으로 이루어져 정현파 전류로 여기되어 교류 이극 자기장을 형성하는 교류 전자석, 상기 교류 전자석에 전원을 공급해주는 전원부 및 상기 빔 발생부에서 단위 시간당 발생하는 펄스 빔의 갯수를 상기 교류 전자석의 정현파 전류 주기에 따라 변조하도록 타이밍 신호를 발생하여 상기 빔 발생부에 제공하는 타이밍 신호 발생부를 포함하여 구성된다. 펄스, 빔, 전자, 이온, 조사, 방향, 조절, 전자석, 신호, 변조
Int. CL H01J 37/147 (2006.01) H01J 37/21 (2006.01)
CPC H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01)
출원번호/일자 1020080132416 (2008.12.23)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-0933010-0000 (2009.12.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20091221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용섭 대한민국 대전광역시 서구
2 장지호 대한민국 대전광역시 서구
3 설경태 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신운철 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *(삼성동) 우경빌딩*층(가디언국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0884293-28
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0431949-14
3 등록결정서
Decision to grant		 2009.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0497493-67
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
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번호 청구항
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교류 전자석을 이용하여 대상시료에 조사되는 입자빔의 조사 방향을 조절하는 장치에 있어서, 하전입자의 펄스 빔을 발생시키는 빔 발생부; 수평 방향으로 서로 대향하는 한 쌍의 자극으로 이루어져 정현파 전류로 여기되어 교류 이극 자기장을 형성하는 교류 전자석; 상기 교류 전자석에 전원을 공급해주는 전원부; 및 상기 빔 발생부에서 단위 시간당 발생하는 펄스 빔의 갯수를 상기 교류 전자석의 정현파 전류 주기에 따라 변조하도록 타이밍 신호를 발생하여 상기 빔 발생부에 제공하는 타이밍 신호 발생부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 장치
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하전입자의 펄스 빔을 발생시키는 빔 발생부와, 정현파 전류로 여기되어 교류 이극 자기장을 형성하는 교류 전자석을 이용하여 발생된 입자빔을 대상 시료에 조사하는 방법에 있어서, 상기 하전입자의 펄스 빔을 발생시키는 빔 발생부에서 단위 시간당 발생하는 펄스 빔의 갯수를 상기 교류 전자석을 여기시키는 정현파 전류의 파형에 따라 변조하는 타이밍 신호를 통해 변조함으로써, 대상시료에 조사되는 입자빔의 영역별 조사량을 조절하는 것을 특징으로 하는 펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 타이밍 신호를 통한 펄스 빔의 변조는, 상기 정현파의 최대 및 최소값 부분에서는 상기 하전입자 빔의 펄스 간 간격을 넓혀주어 단위 시간당 발생되는 펄스 빔의 갯수를 줄여주고, 상기 정현파의 기준값 부분에서는 상기 하전입자 빔의 펄스 간 간격을 좁혀주어 단위 시간당 발생되는 펄스 빔의 갯수를 높여줌으로써, 대상시료에 조사되는 입자빔의 영역별 조사량을 균일하게 조절하는 것을 특징으로 하는 펄스 반복률 변조를 이용한 빔 조사량 조절 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.