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이온 주입기용 고전압 전원장치

  • 기술번호 : KST2014013472
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이온 주입기용 고전압 전원장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이온 주입기 모듈이 내부에 수용된 고전압 터미널에 이온빔의 가속을 위한 고전압을 인가하기 위한 장치에 있어서, 고전압 터미널의 하부에 위치되어 고전압 터미널에 전력을 공급하는 전력공급장치에 다수개의 소형 고전압 전원모듈을 연결하여 구성함으로써, 고전압 전원장치를 소형화하여 장치의 설치 공간을 줄이고 장치의 설치 비용을 절감할 수 있는 고전압 이온 주입기 전원장치에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은, 이온 주입기 모듈이 내부에 수용된 고전압 터미널에 이온빔의 가속을 위한 고전압을 인가하기 위한 장치에 있어서, 상기 고전압 터미널의 하부에 설치되며, 전동기, 절연봉 및 발전기로 구성되어 상기 이온 주입기 모듈에 동작 전력을 공급하는 전력공급장치 및 상기 전력공급장치의 절연봉에 각각 연결되어 상기 고전압 터미널에 이온빔의 가속을 위한 고전압을 인가하는 다수개의 소형 고전압 전원모듈을 포함하여 구성되되, 상기 다수개의 소형 고전압 전원모듈은, 서로 직렬로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 이온 주입기용 고전압 전원장치를 제공한다. 이온, 이온빔, 주입, 고전압, 전원, 가속, 터미널, 장치, 모듈
Int. CL H01J 37/317 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01) H01J 37/02 (2006.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020080128536 (2008.12.17)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-0933011-0000 (2009.12.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20091221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용섭 대한민국 대전광역시 서구
2 홍인석 대한민국 대전광역시 중구
3 박범식 대한민국 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신운철 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *(삼성동) 우경빌딩*층(가디언국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)엘에스아이정보기술 대전광역시 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0867157-84
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0431941-49
3 등록결정서
Decision to grant		 2009.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0497492-11
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이온 주입기 모듈이 내부에 수용된 고전압 터미널에 이온빔의 가속을 위한 고전압을 인가하기 위한 장치에 있어서, 상기 고전압 터미널의 하부에 설치되며, 전동기, 절연봉 및 발전기로 구성되어 상기 이온 주입기 모듈에 동작 전력을 공급하는 전력공급장치; 및 상기 전력공급장치의 절연봉에 각각 연결되어 상기 고전압 터미널에 이온빔의 가속을 위한 고전압을 인가하는 다수개의 소형 고전압 전원모듈; 을 포함하여 구성되되, 상기 다수개의 소형 고전압 전원모듈은, 서로 직렬로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 이온 주입기용 고전압 전원장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 소형 고전압 전원모듈은, 상기 절연봉에 연결되어 상기 절연봉의 회전에 의해 구동되는 기어 박스; 상기 기어 박스에 연결되어 상기 기어 박스의 구동에 의해 동작되는 발전기; 및 상기 발전기에 연결된 고전압 전원; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이온 주입기용 고전압 전원장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 다수개의 소형 고전압 전원모듈은, 상기 고전압 터미널의 하부에 위치되는 것을 특징으로 하는 이온 주입기용 고전압 전원장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.