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진공챔버;
상기 진공챔버와 배관에 의해 연결되되, 상기 진공챔버로부터 상기 진공배기가스를 흡입 토출하는 흡입부와 토출부를 구비하는 고진공펌프 및, 상기 고진공펌프의 작동압력을 조성하고 상기 진공배기가스를 외부로 배출하기 위해 흡입 토출하는 저진공펌프를 포함하여, 상기 진공챔버의 내부 공간에 진공을 제공하는 진공펌프;
상기 배관의 경로상에 위치하고, 상기 고진공펌프로부터 토출된 진공배기가스를 임시로 수집하여 저장함으로써 상기 저진공펌프의 운전주기를 조절하는 진공배기탱크; 및
상기 진공펌프 및 진공배기탱크를 내부에 수용하여 밀폐시키는 격리박스;
를 포함하는 진공 시스템
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제1항에 있어서,
상기 격리박스에는 질소가스가 충진된 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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삭제
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제1항에 있어서,
상기 고진공펌프의 작동압력의 범위는 10-2 torr 내지 10-5 torr 인 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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5
제1항에 있어서,
상기 배관의 경로상에 장착되어 상기 진공배기가스의 이송로를 선택적으로 개폐하는 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제5항에 있어서,
상기 밸브는 상기 고진공펌프 및 저진공펌프 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제1항에 있어서,
상기 고진공펌프의 토출부 압력을 측정하는 제1 압력계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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8
제1항에 있어서,
상기 진공배기탱크의 용적은 상기 진공챔버의 내부압력 및 상기 고진공펌프의 초기 작동압력간의 차압과 상기 격리박스 내부의 설정온도에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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9
제1항에 있어서,
상기 고진공펌프는 터보 분자 펌프(Turbo Molecular Pump)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제1항에 있어서,
상기 저진공펌프는 드라이 펌프(Dry Pump)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제1항에 있어서,
상기 격리박스의 내부 온도를 측정하는 온도계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제11항에 있어서,
상기 격리박스 내부의 측정온도가 설정온도 이하로 유지되기 위해 상기 저진공펌프의 운전을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제1항에 있어서,
상기 진공챔버는 내부의 압력을 측정하는 제2 압력계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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진공챔버;
상기 진공챔버로부터 진공배기가스를 흡입 토출하는 흡입부와 토출부를 구비하는 고진공펌프;
상기 고진공펌프의 작동압력을 조성하고, 상기 진공배기가스를 외부로 배출하기 위해 흡입 토출하는 저진공펌프;
상기 고진공펌프 및 저진공펌프 사이에 위 치하고, 상기 고진공펌프로부터 이송된 상기 진공배기가스를 임시로 수집하여 저장함으로써 상기 저진공펌프의 운전주기를 조절하는 진공배기탱크;
상기 진공챔버, 고진공펌프 및 저진공펌프를 연결시키는 배관의 경로상에 위치하되, 상기 고진공펌프 및 저진공펌프 사이에 형성되어 상기 배관의 통로를 개폐하는 제1 밸브;
상기 배관의 경로상에 위치하되, 상기 저진공펌프 및 외부 사이에 형성되어 상기 배관의 통로를 개폐하는 제2 밸브;
상기 배관의 경로상에 위치하되, 상기 진공챔버 및 고진공펌프에 형성되어 상기 배관의 통로를 개폐하는 제3 밸브;
상기 고진공펌프의 토출부 압력을 측정하는 제1 압력계; 및
상기 고진공펌프, 저진공펌프, 진공배기탱크, 제1 밸브, 제2 밸브, 제3 밸브 및 제1 압력계를 외부로부터 밀폐시키는 격리박스;
를 포함하는 진공 시스템
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제14항에 있어서,
상기 격리박스에는 질소가 충진된 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제14항에 있어서,
상기 고진공펌프의 작동압력의 범위는 10-2 torr 내지 10-5 torr 인 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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제14항에 있어서,
상기 진공배기탱크의 용적은 상기 진공챔버의 내부압력 및 상기 고진공펌프의 초기 작동압력간의 차압에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 진공 시스템
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진공챔버와 연결되고, 상기 진공챔버 내부에 저장된 진공배기가스를 외부로 배출하여 상기 진공챔버 내부에 진공을 제공하는 진공 시스템의 운전방법에 있어서,
상기 진공챔버와 배관으로 연결된 저진공펌프를 운전하는 단계;
상기 진공챔버 및 저진공펌프 사이에 위치한 고진공펌프가 작동압력에 도달하면, 상기 고진공펌프를 운전하는 단계;
상기 저진공펌프의 전후에 설치된 제1 밸브 및 제2 밸브를 폐쇄하고 상기 저진공펌프의 운전을 중지시키는 단계;
상기 고진공펌프를 통해 상기 진공챔버로부터 흡입한 상기 진공배기가스를 상기 고진공펌프 및 저진공펌프 사이에 위치하는 진공배기탱크에 저장하는 단계;
상기 고진공펌프 및 진공배기가스 사이의 압력이 상기 고진공펌프의 작동압력에 도달하면, 상기 진공챔버 및 고진공펌프 사이에 위치한 제3밸브를 폐쇄하는는 단계;
상기 저진공펌프를 운전하고 상기 제1 밸브 및 제2 밸브를 개방하여 상기 진공배기탱크에 저장된 상기 진공배기가스를 외부로 배출하는 단계; 및
상기 제3밸브를 개방하는 단계;
을 포함하는 진공 시스템의 운전방법
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제18항에 있어서,
상기 고진공펌프 및 저진공펌프는 간헐적으로 운전되는 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 운전방법
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제19항에 있어서,
상기 저진공펌프의 운전은 발열량을 고려하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 시스템의 운전방법
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