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화학증착용 유기티탄 전구체 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014013542
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 베타케토에스테르와 티타늄 글리콜레이트와의 유기티탄 전구체, 이들과 알코올의 가교결합으로 이루어진 이핵성(binuclear) 전구체 및 그의 합성 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 설명하면, 본 발명은 유기금속화학증착법(MOCVD = metal-organic chemical vapor deposition)용의 이산화티탄 원료로서 이용이 기대되는 신규 유기티탄 전구체 및 그의 합성 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 대기중 안정하고 취급이 용이하며, 열안정성과 기화 안정성이 양호하고, 분해반응이 간단하여 낮은 온도에서도 증착속도가 우수한 신규 유기티탄 전구체를 간편한 방법으로 합성할 수 있기 때문에 경제적인 원료를 제공할 수 있다.화학증착, 유기티탄 전구체, 베타케토에스테르, 티타늄 글리콜레이트
Int. CL C07F 7/28 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020002542 (2002.01.16)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0435816-0000 (2004.06.02)
공개번호/일자 10-2002-0062174 (2002.07.25) 문서열기
공고번호/일자 (20040612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020010003137   |   2001.01.19
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.01.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 우경자 대한민국 서울특별시성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2002-0013166-25
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.11.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.12.18 수리 (Accepted) 9-1-2003-0062450-13
5 등록결정서
Decision to grant		 2004.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0198290-32
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

하기 화학식 1로 표시되는 유기티탄 전구체

2 2

하기 화학식 2로 표시되는 이핵성 유기티탄 전구체

3 3

제 1항 또는 제 2항에 있어서, R1 및 R2가 각각 탄소원자수 1 내지 8의 직쇄 또는 분지쇄 알킬기, 시클로알킬기, 페닐기 또는 벤질기인 유기티탄 전구체

4 4

제 1항 또는 제 2항에 있어서, R3이 탄소원자수 2 내지 13의 직쇄 또는 분지쇄 알킬렌기인 유기티탄 전구체

5 5

제 2항에 있어서, R4가 탄소원자수 1 내지 8의 직쇄 알킬기인 유기티탄 전구체

6 6

Ti(OR)4[여기서, R은 직쇄 또는 분지쇄의 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기임]로 표시되는 티타늄 테트라알콕사이드와 하기 화학식 3의 2가 알코올을 반응시키는 단계,

상기 반응물에 하기 화학식 4의 베타케토에스테르를 투입하여 반응시키는 단계 및

상기 반응물로부터 부가적으로 발생하는 ROH와 용매를 제거한 후, 감압증류하는 단계

를 포함하는, 제1항 기재의 화학식 1의 유기티탄 전구체의 합성 방법

7 7

Ti(OR)4[여기서, R은 직쇄 또는 분지쇄의 탄소 원자수 1 내지 4의 알킬기임]로 표시되는 티타늄 테트라알콕사이드와 하기 화학식 3의 2가 알코올을 반응시키는 단계,

상기 반응물에 하기 화학식 4의 베타케토에스테르를 투입하여 반응시키는 단계 및

상기 반응물로부터 부가적으로 발생하는 ROH와 용매를 제거한 후 감압증류하되, 감압증류 전 또는 후에 R4OH (여기서, R4는 직쇄의 탄소원자수 1 내지 8의 알킬기임)로 표시되는 알코올류를 가하는 단계

를 포함하는, 제2항 기재의 화학식 2의 이핵성 유기티탄 전구체의 합성 방법

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1 JP03902957 JP 일본 FAMILY
2 JP15104992 JP 일본 FAMILY
3 US06603033 US 미국 FAMILY
4 US20020143201 US 미국 FAMILY
5 US20030040638 US 미국 FAMILY

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1 JP2003104992 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP3902957 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2002143201 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US2003040638 US 미국 DOCDBFAMILY
5 US6603033 US 미국 DOCDBFAMILY
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